Новини галузі

Серед доступних технологій піч для вирощування кристалів SiC з резистивним нагріванням великого розміру стала критичним рішенням для виробництва малодефектних кристалів SiC великого діаметру з покращеною консистенцією та ефективністю. У цій статті досліджується, як працює ця технологія, її переваги, застосування та чому лідери галузі довіряють інноваційним рішенням від Veteksemi.

Графітовий токоприймач із покриттям SiC для ASM — це не просто запасна частина в системі епітаксії. Це критично важливий для процесу носій, який впливає на теплову рівномірність, чистоту пластин, довговічність покриття, стабільність камери та довгострокову вартість виробництва.

Покриття CVD TaC — це не просто захисна кришка чи графітовий компонент із покриттям. У високотемпературних напівпровідникових процесах це може впливати на чистоту камери, термічну стабільність, термін служби деталей і послідовність процесу.