Новини галузі

Введення CO₂ у воду для нарізання під час різання пластин є ефективним технологічним заходом для придушення накопичення статичного заряду та зниження ризику забруднення, тим самим покращуючи продуктивність нарізання та довгострокову надійність стружки.

Кремнієві пластини є основою інтегральних схем і напівпровідникових приладів. Вони мають цікаву особливість - плоскі краї або крихітні борозенки з боків. Це не дефект, а навмисно розроблений функціональний маркер. Насправді ця виїмка служить орієнтиром і маркером ідентичності протягом усього процесу виробництва.

Хіміко-механічна поліровка (CMP) усуває надлишки матеріалу та поверхневих дефектів шляхом спільної дії хімічних реакцій і механічного стирання. Це ключовий процес для досягнення глобальної планаризації поверхні пластини та незамінний для багатошарових мідних з’єднань і діелектричних структур з низьким коефіцієнтом k. У практичному виготовленні

Суспензія для полірування кремнієвих пластин CMP (Chemical Mechanical Planarization) є критично важливим компонентом у процесі виробництва напівпровідників. Він відіграє ключову роль у забезпеченні того, що кремнієві пластини, які використовуються для створення інтегральних схем (ІС) і мікрочіпів, відполіровані до точного рівня гладкості, необхідного для наступних етапів виробництва

У виробництві напівпровідників хімічно-механічна планаризація (CMP) відіграє життєво важливу роль. Процес CMP поєднує хімічні та механічні дії для згладжування поверхні кремнієвих пластин, забезпечуючи рівномірну основу для наступних етапів, таких як осадження тонкої плівки та травлення. Полірувальна суспензія CMP, як основний компонент цього процесу, значно впливає на ефективність полірування, якість поверхні та кінцеві характеристики продукту

Полірувальна суспензія Wafer CMP — це спеціально розроблений рідкий матеріал, який використовується в процесі виробництва напівпровідників CMP. Він складається з води, хімічних травлювачів, абразивів і поверхнево-активних речовин, що забезпечує як хімічне травлення, так і механічне полірування.