Новини галузі

Матеріали високої чистоти необхідні для виробництва напівпровідників. Ці процеси включають сильну температуру та корозійні хімікати. CVD-SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) забезпечує необхідну стабільність і міцність. Зараз це основний вибір для деталей вдосконаленого обладнання завдяки його високій чистоті та щільності.

У світі напівпровідників з карбіду кремнію (SiC) більшість уваги приділяється 8-дюймовим епітаксіальним реакторам або тонкощам полірування пластин. Однак, якщо ми простежимо ланцюжок постачання назад до самого початку — всередині печі фізичного транспортування парів (PVT), — тихо відбувається фундаментальна «матеріальна революція».

В епоху швидкого розвитку MEMS (мікроелектромеханічних систем) вибір правильного п’єзоелектричного матеріалу є вирішальним рішенням для продуктивності пристрою. Тонкоплівкові пластини PZT (цирконат-титанат свинцю) стали найкращим вибором порівняно з такими альтернативами, як AlN (нітрид алюмінію), пропонуючи чудовий електромеханічний зв’язок для найсучасніших датчиків і приводів.

У міру того як виробництво напівпровідників продовжує розвиватися в напрямку передових технологічних вузлів, вищої інтеграції та складних архітектур, вирішальні фактори для продуктивності пластини зазнають тонких змін. Для індивідуального виробництва напівпровідникових пластин точка прориву для продуктивності більше не лежить виключно в основних процесах, таких як літографія або травлення; високочисті рецептори все більше стають основною змінною, що впливає на стабільність і послідовність процесу.

У світі широкозонних (WBG) напівпровідників, якщо прогресивний виробничий процес є «душею», графітовий чутливий елемент є «хребтом», а його поверхневе покриття є критичною «шкірою».

У світі силової електроніки з високими ставками карбід кремнію (SiC) і нітрид галію (GaN) очолюють революцію — від електромобілів (EV) до інфраструктури відновлюваної енергії. Однак легендарна твердість і хімічна інертність цих матеріалів є серйозною перешкодою у виробництві.