Новини галузі

Кварцовий човен-це ключовий навантажувальний компонент, що використовується в процесі виготовлення напівпровідників. В основному використовується для високотемпературної обробки вафель, таких як дифузія, окислення та відпал. Його відмінна термічна стійкість, низька характеристика забруднення та резистентність до корозії роблять його незамінним матеріалом у напівпровідниковій галузі. Ця стаття розробить матеріал, фізичні властивості, класифікацію, сценарії застосування кварцового човна та його відмінності від графітового човна PECVD.

Основним матеріалом графітового човна PECVD є ізотропний графітовий матеріал високої чистоти (чистота, як правило, ≥99,999%), який має чудову електропровідність, теплопровідність та щільність. Порівняно зі звичайними графітовими човнами, графітові човни PECVD мають багато переваг фізичної та хімічної власності і в основному використовуються в напівпровідниковій та фотоелектричній промисловості, особливо в процесах PECVD та CVD.

Графітові лотки MOCVD відіграють важливу роль в епітаксіальному процесі. Ця стаття робить детальний аналіз на вибір графітових лотків MOCVD з точки зору властивостей матеріалу та сценаріїв застосування.

Графітові матеріали мають широкий спектр сценаріїв застосування. Серед них ізотропний графіт та кремнізований графіт - це два основні типи графітових матеріалів, а їх характеристики, сценарії застосування та переваги значно відрізняються. Цей блог проведе порівняльний аналіз з трьох аспектів: структурні характеристики, сценарії застосування та переваги продукту.

Кераміка карбіду кремнію, загальновідома як кераміка SIC, - це універсальний матеріал з унікальними властивостями та широким спектром застосувань у різних галузях. Далі наведено детальне обговорення його матеріального складу, фізичних властивостей, конкретних застосувань та переваг у процесах напівпровідникового покриття та загальні проблеми, що виникають під час обробки.

Цей блог приймає "Як пористий графіт підвищує ріст кристалів карбіду кремнію?" Як його тема та детально обговорює пористий графітовий ключовий випуск, роль карбіду кремнію в напівпровідниковій технології, унікальні властивості пористого графіту, як пористий графіт оптимізує процес ПВТ, інновації в пористих графітових матеріалах та інших кутах.