Продукти

Графітовий човен Veteksemicon для PECVD виготовлено з високочистого графіту та розроблено спеціально для процесів хімічного осадження з плазми. Використовуючи наше глибоке розуміння напівпровідникових матеріалів теплового поля та можливостей точної обробки, ми пропонуємо графітові човни з винятковою термічною стабільністю, відмінною провідністю та тривалим терміном служби. Ці човни розроблені для забезпечення високорівномірного осадження тонкої плівки на кожній пластині у вимогливому середовищі процесу PECVD, покращуючи вихід і продуктивність процесу.

Графітове кільце з покриттям CVD TaC від Veteksemicon розроблено для задоволення надзвичайних вимог обробки напівпровідникових пластин. Використовуючи технологію хімічного осадження з парової фази (CVD), щільне і рівномірне покриття з карбіду танталу (TaC) наноситься на високочисті графітові підкладки, що забезпечує виняткову твердість, зносостійкість і хімічну інертність. У виробництві напівпровідників графітове кільце з покриттям CVD TaC широко використовується в камерах MOCVD, травлення, дифузії та епітаксійного росту, слугуючи ключовим структурним або ущільнювальним компонентом для носіїв пластин, токоприймачів і екрануючих вузлів. Чекаємо на подальшу консультацію.

Пористе графітове кільце з покриттям TaC, виготовлене компанією VETEK, використовує легку пористу графітову підкладку та покрите високочистим покриттям з карбіду танталу, яке має чудову стійкість до високих температур, корозійних газів і плазмової ерозії.

Консольна пластина з карбіду кремнію від Veteksemicon розроблена для вдосконаленої обробки пластин у виробництві напівпровідників. Виготовлений із SiC високої чистоти, він забезпечує виняткову термічну стабільність, чудову механічну міцність і відмінну стійкість до високих температур і корозійного середовища. Ці функції забезпечують точне поводження з пластинами, подовжений термін служби та надійну роботу в таких процесах, як MOCVD, епітаксія та дифузія. Ласкаво просимо на консультацію.

Керамічний вакуумний патрон Veteksemicon SiC для пластин розроблено для забезпечення виняткової точності та надійності при обробці напівпровідникових пластин. Виготовлений з карбіду кремнію високої чистоти, він забезпечує чудову теплопровідність, хімічну стійкість і чудову механічну міцність, що робить його ідеальним для складних застосувань, таких як травлення, осадження та літографія. Його надплоска поверхня гарантує стабільну підтримку пластин, зводячи до мінімуму дефекти та покращуючи продуктивність процесу. цей вакуумний патрон є надійним вибором для високопродуктивної роботи з пластинами.

Фокусне кільце Veteksemi з міцного SiC значно покращує рівномірність травлення та стабільність процесу, точно контролюючи електричне поле та потік повітря на краю пластини. Він широко використовується в процесах точного травлення кремнію, діелектриків і складних напівпровідникових матеріалів і є ключовим компонентом для забезпечення продуктивності масового виробництва та тривалої надійної роботи обладнання.