CVD Карбід кремнію (SiC) з графітовим покриттям RTP RTA Carrier

Особливості продукту

· Основне обладнання:Призначений для систем швидкого термічного відпалу (RTA) і швидкої термічної обробки (RTP).

· Примари Aзастосування: Оптимізовано для процесів відпалу напівпровідникових пластин.

· орeрейтинг Teтемпература:Стабільна робота від 200°C до 700°C.

· Excellent Therнерівномірність: Забезпечує рівномірний розподіл тепла для стабільної обробки вафель.

· Низький вміст частинокGгенерація: Щільне покриття CVD SiC мінімізує забруднення та покращує вихід продукції.

· Чудова хімічна стійкість:Стійкий до окислення та агресивних технологічних газів під час термічної обробки.

· Видатнийg ТермСтійкість до ударів: Зберігає структурну цілісність завдяки повторним швидким циклам нагрівання та охолодження.

· Тривалий термін служби:Зносостійке покриття SiC значно подовжує термін служби компонентів і знижує витрати на обслуговування.

· CustomВиробництво:Доступні в різних розмірах і конфігураціях для відповідності різному обладнанню RTP/RTA.

Технічні характеристики

Додатки

·Швидкий термічний відпал (RTA)

· Швидка термічна обробка (RTP)

· Відпал кремнієвих пластин

· Активація допантів

· Окислення

· дифузія

·Виробництво складних напівпровідників

·Виготовлення MEMS

·Обробка силових напівпровідників

FAQ

1. Що таке оператор RTP/RTA?

Носій RTP/RTA — це опорний компонент пластини, який використовується в системах швидкої термічної обробки та швидкого термічного відпалу. Він надійно утримує напівпровідникові пластини, забезпечуючи рівномірний теплообмін протягом теплового циклу.

2. Чому CVD покриття SiC є кращим?

Порівняно з чистим графітом покриття CVD SiC забезпечує чудову стійкість до окислення, менше утворення частинок, кращу хімічну стабільність і значно довший термін служби.

3. Чи може VETEK надати індивідуальні оператори RTP/RTA?

так VETEK пропонує індивідуальні носії RTP/RTA на основі креслень замовника.