VeTek Semiconductor надає спеціальний графіт, як-от силіконізований графіт, піролітичний вуглець, пористий графіт, скловуглецеве покриття, графітовий лист високої чистоти та ізостатичний графіт високої чистоти – кілька типів спеціальних графітових матеріалів, які мають спільні характеристики та застосування. Ось короткий огляд їхніх функцій і застосувань:
● Силіконізований графіт: силіконізований графіт — це спеціальний графітовий матеріал, утворений шляхом поєднання графіту з кремнієвими сполуками. Він демонструє чудову стійкість до високих температур, стійкість до корозії та механічні властивості. Силіконізований графіт зазвичай використовується у високотемпературних печах, корозійно-стійкому обладнанні та виробництві напівпровідників.
● Піролітичний вуглець: піролітичний вуглець – це вуглецевий матеріал, отриманий шляхом високотемпературного піролізу органічних речовин, таких як вугілля та нафтовий кокс. Він може похвалитися високою чистотою, щільністю, міцністю та низькою електропровідністю. Піролітичний вуглець знаходить широке застосування як високотемпературні матеріали та конструкційні компоненти в напівпровідниковій, хімічній техніці, аерокосмічній та інших галузях.
● Пористий графіт: пористий графіт — це спеціальний графітовий матеріал із мікро- та мезопористою структурою. Він має велику питому поверхню та пористість, пропонуючи чудові властивості адсорбції та теплопровідності. Пористий графіт зазвичай використовується для виділення газів, вирощування кристалів SiC та інших застосувань.
● Скловуглецеве покриття: скловуглецеве покриття відноситься до техніки нанесення скловуглецевого матеріалу як поверхневого покриття. Він демонструє чудову стійкість до корозії, зносостійкість та електропровідність. Скловуглецеві покриття часто використовуються для корозійностійких покриттів, матеріалів для покриття електронно-променевої гармати та інших галузей напівпровідників.
● Ізостатичний графіт високої чистоти. Ізостатичний графіт високої чистоти — це спеціальний графіт високої чистоти, виготовлений за допомогою високотемпературного процесу ізостатичного пресування. Має однорідну мікроструктуру, високу щільність і низький вміст кисню. Ізостатичний графіт високої чистоти широко використовується в прецизійній обробці, матеріалах для розсіювання тепла, виробництві напівпровідників, фотоелектричній, аерокосмічній та інших галузях промисловості.
Графітний папір високої чистоти є спеціальним матеріалом, який використовується в напівпровідниковій промисловості. Завдяки своїй винятковій тепло- та електропровідності він відіграє життєво важливу роль у таких сферах застосування, як радіатори, матеріали для термоінтерфейсу та електрична ізоляція. Легкий і гнучкий характер графітового паперу високої чистоти робить його ідеальним для покращення керування температурою та оптимізації продуктивності напівпровідникових пристроїв. Його висока чистота (домішки нижче 5 ppm) забезпечує надійну та ефективну роботу, що робить його цінним компонентом у виробництві та складанні напівпровідників.
Ці спеціальні графітові матеріали пропонують унікальні властивості та переваги застосування у відповідних галузях. Вони відіграють важливу роль у високотемпературних середовищах, стійкості до корозії, електроніці, енергетиці, хімічній інженерії, аерокосмічній та напівпровідниковій промисловості, забезпечуючи істотну підтримку для прогресу та інновацій у цих секторах.
Ключові характеристики
● Опції надвисокої чистоти з рівнями домішок нижче 5 ppm для критичних напівпровідникових процесів.
● Відмінна високотемпературна стабільність і стійкість до термічного удару підходить для вирощування кристалів PVT SiC і вакуумних печей.
● Різноманітні форми матеріалів: ізостатичний графіт, пористий графіт, силіконізований графіт, покриття PyC, покриття зі скловуглецю та гнучкі графітові листи.
● Висока стійкість до корозії, зносостійкість і контрольована пористість для використання в системах управління газом і теплових полях.
● Можливості внутрішньої обробки та нанесення покриттів (SiC / TaC / PyC), що дозволяє створювати універсальні індивідуальні рішення.
● Сумісність із основними платформами обладнання для напівпровідників і вирощування кристалів.
Технічні характеристики продукту
| Параметр піролітично вуглецевого (PyC) покриття |
| Пункт |
одиниця |
значення |
| Кристалічна структура |
-
|
Шестикутний |
| Вирівнювання |
-
|
Орієнтований або не орієнтований вздовж напрямку 001 |
| Насипна щільність |
г/см³ |
~2,24 |
| Мікроструктура |
-
|
Полікристалічний/багатошаровий графен |
| Твердість |
ГПа |
1.1
|
| Модуль пружності |
ГПа |
10
|
| Типова товщина |
мкм |
30-100 |
| Шорсткість поверхні |
мкм |
1.5
|
| Чистота продукту |
ppm |
≤5 ppm |
Додатки
Щоб задовольнити різноманітні потреби в напівпровідникових і високотемпературних процесах, VeTek пропонує цільові спеціальні графітові продукти. У наступній таблиці їх класифіковано за основними сферами застосування з переліком типових матеріалів/компонентів і застосовних процесів:
| Поле застосування |
Типові матеріали / вироби |
Опис програми |
| Зростання кристалів SiC (PVT) |
Пористий графіт, Графітове кільце з покриттям PyC, ізостатичний графітовий тигель, напрямне кільце
|
Використовується в теплових полях росту кристалів SiC PVT; забезпечує контрольований транспорт парів, високу чистоту та термостабільність до >2200°C, зменшуючи забруднення частинками. |
| Напівпровідникова епітаксія / MOCVD |
обігрівачі, PyC / деталі зі склокарбоном
|
Компоненти теплового поля високої чистоти для систем епітаксії Si/SiC/GaN і MOCVD; відмінна температурна рівномірність і хімічна інертність. |
| Високотемпературні печі та вакуум |
Графітові обігрівачі, Трипелюстковий графітовий тигель
|
Стійкі до корозії та термічно стійкі матеріали для вакуумних печей, нагрівачів гарячої зони та обладнання для високотемпературної обробки. |
| Тепловий менеджмент |
Графіт високої чистоти, Графітний папір
|
Гнучкі листи з високою тепло/електропровідністю для радіаторів, матеріалів для термоінтерфейсу та електричної ізоляції в напівпровідникових пристроях (домішки <5 ppm). |
| Захист від корозії / зносу |
Склокарбонове покриття, силіконізований графіт |
Поверхневі покриття та сипучі матеріали забезпечують чудову корозійну стійкість, зносостійкість і електропровідність для електронно-променевих пістолетів і суворих умов. |
| Розділення та адсорбція газів |
Пористий графіт
|
Мікро/мезопориста структура з великою питомою поверхнею для розділення газів, фільтрації та застосування в контрольованій атмосфері. |
Щоб отримати докладніші рішення щодо відповідності продуктів і процесів, зверніться до відповідних сторінок підкатегорій:Пористий графіт, Ізотропний графіт, Піролітичне карбонове покриттятощо
Як професійний виробник і постачальник спеціального графіту в Китаї, ми маємо власну фабрику. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги для задоволення конкретних потреб вашого регіону, чи бажаєте придбати передовий і міцний спеціальний графіт, виготовлений у Китаї, ви можетезалиште нам повідомлення.
