Нітрид кремнію

VeTek Semiconductor зосереджується на виробництві нітриду кремнію та має команду досліджень і розробок, що складається зі старших експертів і найкращих технічних талантів. Кераміка з нітриду кремнію має переваги твердості, термостійкості, зносостійкості та стійкості до корозії звичайних керамічних матеріалів, а також має такі переваги, як гарна стійкість до термічного удару, стійкість до повзучості при високій температурі, гарне самозмащування та хороша хімічна стабільність, і широко поширені використовується в новій енергетиці, хімічній промисловості, аерокосмічній та напівпровідниковій сферах.

Матеріали з нітриду кремнію VeTek Semiconductor мають такі помітні переваги:

1. Відмінна хімічна стабільність

Кераміка з нітриду кремнію має чудову хімічну стабільність і може витримувати різноманітні сильні кислоти, луги та корозійні гази. У процесі виробництва напівпровідників часто доводиться мати справу з корозійними хімічними речовинами, кераміка з нітриду кремнію може забезпечити довгострокову стабільну гарантію продуктивності.

2. Відмінні механічні властивості

Кераміка з нітриду кремнію має високу твердість, відмінну міцність на стиск і зносостійкість, здатна протистояти механічним навантаженням і поверхневому зносу, не легко деформуватися або розірватися. Ця механічна властивість робить його дуже придатним як матеріал для структурних і технологічних частин напівпровідникового обладнання.

3. Високотемпературна стабільність

Кераміка з нітриду кремнію може зберігати стабільність у високотемпературному середовищі, її важко розм’якшити або розплавити, вона може витримувати високу температуру обробки та обробки в процесі виробництва напівпровідників. Це дозволяє використовувати його у виробництві ключових компонентів високотемпературного технологічного обладнання, таких як захвати, компоненти реакційної камери тощо.

4. Відмінні ізоляційні властивості

Ізоляційні властивості є критичними у виробництві напівпровідникових пристроїв. Кераміка з нітриду кремнію має хороші ізоляційні властивості, які можуть ефективно ізолювати та захищати компоненти схеми від витоку струму або електромагнітних перешкод, сприяючи підвищенню стабільності та надійності пристрою.

5. Теплопровідність і теплопровідність

Кераміка з нітриду кремнію має високу теплопровідність, може ефективно проводити і розсіювати тепло, що виділяється пристроєм, допомагаючи підтримувати стабільність температури пристрою в процесі роботи. Це критично важливо для високопродуктивної роботи напівпровідникових приладів.

Застосування матеріалів з нітриду кремнію VeTek Semiconductor у сонячній та напівпровідниковій промисловості в основному включає:

1. Електростатичні патрони та компоненти камери травлення

Кераміка з нітриду кремнію часто використовується як матеріал для електростатичних патронів і компонентів камери травлення у виробництві напівпровідників через її чудову хімічну стабільність і стійкість до високих температур. Електростатичні патрони використовуються для фіксації та стабілізації пластин або підкладок, тоді як компоненти камери для травлення використовуються для захисту від агресивних газів і високотемпературного середовища.

2. газорозподільні пластини та відбивачі

Кераміка з нітриду кремнію також використовується у виробництві напівпровідникової апаратури в газорозподільних пластинах і відбивачах. Газорозподільні пластини використовуються для рівномірного розподілу реактивних або захисних газів у реакційній камері, тоді як рефлектори використовуються для оптимізації розподілу та відбиття світла в реакційній камері для підвищення ефективності та однорідності реакції.

3. Тримачі та термокомпоненти

Кераміка з нітриду кремнію часто використовується як тримачі та компоненти керування температурою в обладнанні для виробництва напівпровідників. Ці компоненти повинні мати хорошу механічну міцність, зносостійкість і теплопровідність для забезпечення стабільної роботи обладнання та точності обробки пристрою.

4. Накладки для хімічного механічного полірування (CMP).

Кераміка з нітриду кремнію широко використовується як матеріал для накладок у процесі хімічного механічного полірування (CMP). Він має чудову площинність і зносостійкість і може забезпечити стабільну опору під час процесу полірування, щоб забезпечити рівність і точність поверхні напівпровідникової пластини.