Кремнієва нітрид

1. Відмінна хімічна стабільність

Кераміка нітриду кремнію має чудову хімічну стабільність і може витримати різноманітні сильні кислоти, луги та корозійні гази. У процесі виготовлення напівпровідників часто потрібно боротися з корозійними хімічними речовинами, кремнієва нітридна кераміка може забезпечити довгострокову стабільну гарантію продуктивності.

2. Відмінні механічні властивості

Кераміка нітриду кремнію має високу твердість, відмінну міцність на стиск та стійкість до зносу, здатні протистояти механічному напрузі та зношенню поверхні, непросто в деформації або розриву. Ця механічна властивість робить його дуже підходящим як матеріал для структурних та технологічних деталей у напівпровідниковому обладнанні.

3. Високотемпературна стабільність

Кераміка нітриду кремнію може підтримувати стабільність у високотемпературних середовищах, непросто для пом'якшення або розплаву, і може протистояти високотемпературній обробці та поводженні в процесі виготовлення напівпровідників. Це дозволяє використовувати його у виготовленні високотемпературних компонентів обладнання для обладнання, таких як Grippers, компоненти реакційної камери тощо.

4. Відмінні ізоляційні властивості

Ізоляційні властивості мають вирішальне значення для виготовлення напівпровідникових пристроїв. Кераміка нітриду кремнію має хороші ізоляційні властивості, які можуть ефективно ізолювати та захищати компоненти ланцюга від витоку струму або електромагнітних перешкод, допомагаючи підвищити стабільність та надійність пристрою.

5. Теплопровідність та теплопровідність

Кераміка нітриду кремнію має високу теплопровідність, може ефективно проводити та розсіювати тепло, що утворюється пристроєм, допомагаючи підтримувати стабільність температури пристрою в робочому процесі. Це має вирішальне значення для високоефективної операції напівпровідникових пристроїв.

1. Електростатичні штрихи та компоненти камери травлення

Кераміка нітриду кремнію часто використовується як матеріали для електростатичних шрифтів та компонентів камери для травлення у виробництві напівпровідників через їх чудову хімічну стійкість та високу температуру. Електростатичні штроми використовуються для виправлення та стабілізації вафель або субстратів, тоді як компоненти травлення використовуються для витримки корозійних газів та високотемпературних середовищ.

2. Пластини та відбивачі для розподілу газу

Кераміка нітриду кремнію також використовується при виготовленні напівпровідникового обладнання в плитах з розподілу газу та відбитків. Пластини розподілу газу використовуються для рівномірного розподілу реактивних або захисних газів у реакційну камеру, тоді як відбивачі використовуються для оптимізації розподілу та відбиття світла всередині реакційної камери для підвищення ефективності реакції та рівномірності.

3. Власники та теплові компоненти

Кераміка нітриду кремнію часто використовується як власники та компоненти термічного управління в напівпровідниковому виробничому обладнанні. Ці компоненти повинні мати хорошу механічну міцність, стійкість до зносу та теплопровідність, щоб забезпечити стабільну роботу обладнання та точність обробки пристроїв.

4. Хімічні механічні полірування (CMP) прокладки

Кераміка нітриду кремнію широко використовується як матеріал прокладки в процесі хімічного механічного полірування (CMP). Він має чудову стійкість і знос, і може забезпечити стабільну підтримку під час процесу полірування, щоб забезпечити площину та точність поверхні пластини напівпровідника.