Окислення та дифузійна піч

Печі окислення та дифузії використовуються в різних сферах, таких як напівпровідникові пристрої, дискретні пристрої, оптоелектронні пристрої, електронічні пристрої, сонячні батареї та масштабне виробництво інтегральних ланцюгів. Вони використовуються для процесів, включаючи дифузію, окислення, відпал, лежать та спікання вафель.

Vetek Semiconductor-провідний виробник, що спеціалізується на виробництві графіту високої чистоти, карбіду кремнію та кварцових компонентів у печах окислення та дифузії. Ми прагнемо забезпечити високоякісні компоненти печі для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості, а також на передньому плані технології поверхневого покриття, таких як CVD-SIC, CVD-TAC, Пірокарбон тощо.

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

● Високотемпературна стійкість (до 1600 ℃)

● Відмінна теплопровідність та термічна стійкість

● Хороша хімічна корозійна стійкість

● Низький коефіцієнт теплового розширення

● Висока міцність і твердість

● Довгий термін служби

У печах окислення та дифузії, завдяки наявності високої температури та корозійних газів, багато компонентів потребують використання високотемпературних та корозійних матеріалів, серед яких карбід кремнію (SIC)-це часто використовуваний вибір. Нижче наведені загальні компоненти карбіду кремнію, що містяться в окислювальних печах та дифузійних печах:

● вафельний човен

Силіконовий вафельний човен - це контейнер, який використовується для перенесення кремнієвих вафель, які можуть витримувати високі температури і не реагуватимуть з кремнієвими вафлями.

● трубка печі

Пічна трубка - це основна складова дифузійної печі, яка використовується для розміщення кремнієвих пластин та контролю реакційного середовища. Силіконові карбідні печі мають відмінні високотемпературні та корозійні продуктивність.

● Перегородка

Використовується для регулювання потоку повітря та розподілу температури всередині печі

● Трубка захисту термопари

Використовується для захисту температурних вимірювальних термопа від прямого контакту з корозійними газами.

● Консольне весло

Консольні весла для консольних карбідів кремнію стійкі до високої температури та корозії, і використовуються для транспортування кремнієвих човнів або кварцових човнів, що перевозять кремнієві пластинки в трубки дифузійної печі.

● Газовий інжектор

Використовується для введення реакційного газу в печі, він повинен бути стійким до високої температури та корозії.

● Перевізник човна

Носії вафельного човна кремнію використовується для виправлення та підтримки кремнієвих пластин, які мають такі переваги, як висока міцність, корозійна стійкість та хороша конструкційна стабільність.

● Двері печі

Силіконові карбідні покриття або компоненти також можуть використовуватися на внутрішній стороні дверей печі.

● Опалювальний елемент

Елементи нагрівання карбіду кремнію підходять для високої температури, високої потужності і можуть швидко підвищити температуру до понад 1000 ℃.

● SIC Liner

Використовується для захисту внутрішньої стінки печінкових труб, це може допомогти зменшити втрату теплової енергії та витримати суворі середовища, такі як високий температура та високий тиск.

View as

Кремнієва карбідна робота

Наша робототехнічна рука кремнію (SIC) розроблена для високоефективної обробки вафель у передовому виробництві напівпровідників. Ця робототехнічна рука, виготовлена з карбіду з високою чистотою, пропонує виняткову стійкість до високих температур, корозійної плазми та хімічної атаки, забезпечуючи надійну експлуатацію в вимогливих середовищах чистого приміщення. Його виняткова механічна міцність та розмірна стабільність дозволяють точну обробку вафельних виробів, мінімізуючи ризики забруднення, що робить його ідеальним вибором для MOCVD, епітаксії, імплантації іонів та інших критичних застосувань для обробки вафель. Ми вітаємо ваші запити.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Силіконовий карбід SIC вафельний човен

Ветекеміконові вафельні човни SIC широко використовуються у критичних високотемпературних процесах у виробництві напівпровідників, слугуючи надійними носіями для окислення, дифузії та відпалу для інтегрованих ланцюгів на основі кремнію. Вони також переважають у напівпровідниковому секторі третього покоління, ідеально підходять для вимогливих процесів, таких як епітаксіальний ріст (EPI) та металоорганічне хімічне осадження пари (MOCVD) для пристроїв SIC та GAN. Вони також підтримують високотемпературне виготовлення сонячних батарей високоефективності у фотоелектричній промисловості. З нетерпінням чекаємо вашої подальшої консультації.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

SIC консольні весла

Ветекеміконові консольні весла SIC-це високоочищені кремнієві опорні руки карбіду, розроблені для обробки вафель у горизонтальних дифузійних печах та епітаксіальних реакторах. З винятковою теплопровідністю, корозійною стійкістю та механічною міцністю ці весла забезпечують стабільність та чистоту в вимогливих напівпровідникових умовах. Доступний у користувацьких розмірах та оптимізований для тривалого терміну служби.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Мембрана SIC Ceramics

Мембрани Viteksemicon SIC Ceramics - це тип неорганічної мембрани і належать до твердих мембранних матеріалів у технологіях поділу мембран. Мембрани SIC вистрілюють при температурі вище 2000 ℃. Поверхня частинок гладка і кругла. У опорному шарі немає закритих пор або каналів і кожного шару. Зазвичай вони складаються з трьох шарів з різними розмірами пор.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Пориста керамічна тарілка SIC

Наші пористі керамічні пластини SIC - це пористі керамічні матеріали, виготовлені з карбіду кремнію, як основний компонент і обробляються спеціальними процесами. Вони є незамінними матеріалами у виробництві напівпровідників, хімічному осадженні пари (ССЗ) та інших процесах.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Власний човен SIC Ceramics

Vetek Semiconductor - провідний постачальник вафельних човнів SIC Ceramics, виробник та фабрика в Китаї. Наш вафельний човен SIC Ceramics є життєво важливим компонентом у вдосконалених процесах обробки вафель, що обслуговує фотоелектричну, електроніку та напівпровідникові промисловості. З нетерпінням чекаємо вашої консультації.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Як професіонал Окислення та дифузійна піч виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Окислення та дифузійна піч, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Електронна пошта
anny@veteksemi.com
Адреса
Wangda Road, вулиця Зіян, графство Вуї, місто Цзіньхуа, провінція Чжецзян, Китай

Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Вийти з меню

Окислення та дифузійна піч

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

Кремнієва карбідна робота

Силіконовий карбід SIC вафельний човен

SIC консольні весла

Мембрана SIC Ceramics

Пориста керамічна тарілка SIC

Власний човен SIC Ceramics

Надіслати запит

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон

Факс

Електронна пошта

Адреса