Окислення та дифузійна піч

Печі окислення та дифузії використовуються в різних сферах, таких як напівпровідникові пристрої, дискретні пристрої, оптоелектронні пристрої, електронічні пристрої, сонячні батареї та масштабне виробництво інтегральних ланцюгів. Вони використовуються для процесів, включаючи дифузію, окислення, відпал, лежать та спікання вафель.

Vetek Semiconductor-провідний виробник, що спеціалізується на виробництві графіту високої чистоти, карбіду кремнію та кварцових компонентів у печах окислення та дифузії. Ми прагнемо забезпечити високоякісні компоненти печі для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості, а також на передньому плані технології поверхневого покриття, таких як CVD-SIC, CVD-TAC, Пірокарбон тощо.

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

● Високотемпературна стійкість (до 1600 ℃)

● Відмінна теплопровідність та термічна стійкість

● Хороша хімічна корозійна стійкість

● Низький коефіцієнт теплового розширення

● Висока міцність і твердість

● Довгий термін служби

У печах окислення та дифузії, завдяки наявності високої температури та корозійних газів, багато компонентів потребують використання високотемпературних та корозійних матеріалів, серед яких карбід кремнію (SIC)-це часто використовуваний вибір. Нижче наведені загальні компоненти карбіду кремнію, що містяться в окислювальних печах та дифузійних печах:

● вафельний човен

Силіконовий вафельний човен - це контейнер, який використовується для перенесення кремнієвих вафель, які можуть витримувати високі температури і не реагуватимуть з кремнієвими вафлями.

● трубка печі

Пічна трубка - це основна складова дифузійної печі, яка використовується для розміщення кремнієвих пластин та контролю реакційного середовища. Силіконові карбідні печі мають відмінні високотемпературні та корозійні продуктивність.

● Перегородка

Використовується для регулювання потоку повітря та розподілу температури всередині печі

● Трубка захисту термопари

Використовується для захисту температурних вимірювальних термопа від прямого контакту з корозійними газами.

● Консольне весло

Консольні весла для консольних карбідів кремнію стійкі до високої температури та корозії, і використовуються для транспортування кремнієвих човнів або кварцових човнів, що перевозять кремнієві пластинки в трубки дифузійної печі.

● Газовий інжектор

Використовується для введення реакційного газу в печі, він повинен бути стійким до високої температури та корозії.

● Перевізник човна

Носії вафельного човна кремнію використовується для виправлення та підтримки кремнієвих пластин, які мають такі переваги, як висока міцність, корозійна стійкість та хороша конструкційна стабільність.

● Двері печі

Силіконові карбідні покриття або компоненти також можуть використовуватися на внутрішній стороні дверей печі.

● Опалювальний елемент

Елементи нагрівання карбіду кремнію підходять для високої температури, високої потужності і можуть швидко підвищити температуру до понад 1000 ℃.

● SIC Liner

Використовується для захисту внутрішньої стінки печінкових труб, це може допомогти зменшити втрату теплової енергії та витримати суворі середовища, такі як високий температура та високий тиск.

View as

Трубка дифузійної печі SIC

Як провідний виробник та постачальник обладнання для дифузійної печі в Китаї, напівпровідникова дифузійна трубка SIC Vetek має значно високу міцність на вигин, відмінну стійкість до окислення, корозійну стійкість, високу стійкість до зносу та відмінні високотемпературні механічні властивості. Що робить його незамінним матеріалом обладнання в додатках дифузійної печі. Vetek Semiconductor прагне виготовляти та постачати високоякісну трубку SIC дифузії та вітає ваші подальші запити.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Висока чистота

Vetek Semiconductor пропонує індивідуальний перевізник з високої чистоти SIC вафель. Виготовлений з карбіду з високою чистотою, він має слоти для утримання вафлі на місці, заважаючи їй ковзати під час переробки. Покриття CVD SIC також доступне, якщо потрібно. Як професійний і сильний виробник напівпровідників та постачальник, висока чистота SIC SIC SIC SIC SIC SIC SIC -перевізник SIC SIC є конкурентоспроможним та високоякісним. Напівпровідник Vetek сподівається бути вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Висока чистота консольне весло

Vetek Semiconductor - провідний виробник і постачальник високочаститних виробів з консольними весловими продуктами SIC в Китаї. Консольні весла високої чистоти SIC зазвичай використовуються в напівпровідникових дифузійних печах як платформи передачі вафель або завантаження.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Вертикальний вафельний човен і п’єдестал

Вертикальний сильний човен і п’єдестал Vitek Semiconductor виготовлений з квадратних матеріалів з високою чистотою або кремнієвою карбоновою керамікою (SIC) з відмінною високою температурною стійкістю, хімічною стійкістю та механічною міцністю, і є незамінним компонентом ядра в процесі виробництва напівпровідника. Ласкаво просимо свою подальшу консультацію.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Суміжний вафельний човен

Ветек напівпровідниковий човен Combured Wafer - це вдосконалене обладнання для переробки напівпровідників. Структура продукту ретельно розроблена для забезпечення ефективної обробки та виробництва точних вафель. Veteksemi підтримує індивідуальні рішення для продуктів та сподівається на вашу консультацію.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Горизонтальний носій пластин SiC

VeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником направляючих кілець із покриттям TaC, горизонтального держателя для пластин із SiC та фіксаторів із покриттям із SiC у Китаї. Ми прагнемо надавати ідеальну технічну підтримку та найкращі продуктові рішення для напівпровідникової промисловості. Ласкаво просимо до нас.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Як професіонал Окислення та дифузійна піч виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Окислення та дифузійна піч, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Електронна пошта
anny@veteksemi.com
Адреса
Wangda Road, вулиця Зіян, графство Вуї, місто Цзіньхуа, провінція Чжецзян, Китай

Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Вийти з меню

Окислення та дифузійна піч

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

Трубка дифузійної печі SIC

Висока чистота

Висока чистота консольне весло

Вертикальний вафельний човен і п’єдестал

Суміжний вафельний човен

Горизонтальний носій пластин SiC

Надіслати запит

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон

Факс

Електронна пошта

Адреса