Окислювально-дифузійна піч

Окислювальні та дифузійні печі використовуються в різних галузях, таких як напівпровідникові пристрої, дискретні пристрої, оптоелектронні пристрої, силові електронні пристрої, сонячні елементи та великомасштабне виробництво інтегральних схем. Вони використовуються для процесів, включаючи дифузію, окислення, відпал, легування та спікання пластин.

VeTek Semiconductor є провідним виробником, що спеціалізується на виробництві високочистих графіту, карбіду кремнію та кварцових компонентів у окислювальних та дифузійних печах. Ми прагнемо надавати високоякісні компоненти печей для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості та знаходимося в авангарді технологій поверхневих покриттів, таких як CVD-SiC, CVD-TaC, пірокарбон тощо.

Переваги компонентів з карбіду кремнію VeTek Semiconductor:

Стійкість до високих температур (до 1600 ℃)

Відмінна теплопровідність і термостабільність

Хороша стійкість до хімічної корозії

Низький коефіцієнт теплового розширення

Висока міцність і твердість

Тривалий термін служби

У окислювальних і дифузійних печах через наявність високотемпературних і корозійних газів багато компонентів вимагають використання високотемпературних і корозійно-стійких матеріалів, серед яких карбід кремнію (SiC) є широко використовуваним вибором. Нижче наведено звичайні компоненти карбіду кремнію, які використовуються в окислювальних і дифузійних печах:

Вафельний кораблик

Вафельний човен із карбіду кремнію — це контейнер, який використовується для перевезення кремнієвих пластин, які витримують високі температури та не вступають у реакцію з кремнієвими пластинами.

Печна труба

Труба печі є основним компонентом дифузійної печі, яка використовується для розміщення кремнієвих пластин і контролю середовища реакції. Труби для печей з карбіду кремнію мають чудову стійкість до високих температур і корозії.

Перегородка

Використовується для регулювання потоку повітря і розподілу температури всередині печі

Захисна трубка термопари

Використовується для захисту термопар для вимірювання температури від прямого контакту з корозійними газами.

Консольне весло

Консольні лопаті з карбіду кремнію стійкі до високих температур і корозії та використовуються для транспортування кремнієвих човнів або кварцових човнів, які перевозять кремнієві пластини в труби дифузійної печі.

Газовий інжектор

Використовується для введення реакційного газу в піч, він повинен бути стійким до високої температури та корозії.

Boat Carrier

Носій для човна з карбіду кремнію для пластин використовується для фіксації та підтримки кремнієвих пластин, які мають такі переваги, як висока міцність, стійкість до корозії та хороша структурна стабільність.

Дверцята топки

Покриття або компоненти з карбіду кремнію також можна використовувати на внутрішній стороні дверцят печі.

Нагрівальний елемент

Нагрівальні елементи з карбіду кремнію підходять для високих температур, високої потужності та можуть швидко підвищувати температуру до понад 1000 ℃.

SiC вкладиш

Використовується для захисту внутрішньої стінки пічних труб, він може допомогти зменшити втрати теплової енергії та протистояти суворим середовищам, таким як висока температура та високий тиск.