Окислення та дифузійна піч

Печі окислення та дифузії використовуються в різних сферах, таких як напівпровідникові пристрої, дискретні пристрої, оптоелектронні пристрої, електронічні пристрої, сонячні батареї та масштабне виробництво інтегральних ланцюгів. Вони використовуються для процесів, включаючи дифузію, окислення, відпал, лежать та спікання вафель.

Vetek Semiconductor-провідний виробник, що спеціалізується на виробництві графіту високої чистоти, карбіду кремнію та кварцових компонентів у печах окислення та дифузії. Ми прагнемо забезпечити високоякісні компоненти печі для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості, а також на передньому плані технології поверхневого покриття, таких як CVD-SIC, CVD-TAC, Пірокарбон тощо.

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

● Високотемпературна стійкість (до 1600 ℃)

● Відмінна теплопровідність та термічна стійкість

● Хороша хімічна корозійна стійкість

● Низький коефіцієнт теплового розширення

● Висока міцність і твердість

● Довгий термін служби

У печах окислення та дифузії, завдяки наявності високої температури та корозійних газів, багато компонентів потребують використання високотемпературних та корозійних матеріалів, серед яких карбід кремнію (SIC)-це часто використовуваний вибір. Нижче наведені загальні компоненти карбіду кремнію, що містяться в окислювальних печах та дифузійних печах:

● вафельний човен

Силіконовий вафельний човен - це контейнер, який використовується для перенесення кремнієвих вафель, які можуть витримувати високі температури і не реагуватимуть з кремнієвими вафлями.

● трубка печі

Пічна трубка - це основна складова дифузійної печі, яка використовується для розміщення кремнієвих пластин та контролю реакційного середовища. Силіконові карбідні печі мають відмінні високотемпературні та корозійні продуктивність.

● Перегородка

Використовується для регулювання потоку повітря та розподілу температури всередині печі

● Трубка захисту термопари

Використовується для захисту температурних вимірювальних термопа від прямого контакту з корозійними газами.

● Консольне весло

Консольні весла для консольних карбідів кремнію стійкі до високої температури та корозії, і використовуються для транспортування кремнієвих човнів або кварцових човнів, що перевозять кремнієві пластинки в трубки дифузійної печі.

● Газовий інжектор

Використовується для введення реакційного газу в печі, він повинен бути стійким до високої температури та корозії.

● Перевізник човна

Носії вафельного човна кремнію використовується для виправлення та підтримки кремнієвих пластин, які мають такі переваги, як висока міцність, корозійна стійкість та хороша конструкційна стабільність.

● Двері печі

Силіконові карбідні покриття або компоненти також можуть використовуватися на внутрішній стороні дверей печі.

● Опалювальний елемент

Елементи нагрівання карбіду кремнію підходять для високої температури, високої потужності і можуть швидко підвищити температуру до понад 1000 ℃.

● SIC Liner

Використовується для захисту внутрішньої стінки печінкових труб, це може допомогти зменшити втрату теплової енергії та витримати суворі середовища, такі як високий температура та високий тиск.

View as

Кремнієвий карбід керамічний вафельний човен

Vetek Semiconductor спеціалізується на забезпеченні високоякісних вафельних човнів, п’єдесталів та на замовлення вафельних носіїв у вертикалі/стовпці та горизонтальних конфігураціях для задоволення різних вимог до напівпровідникових процесів. Як провідний виробник та постачальник кремнієвих плівок з карбідним покриттям, наш кремнієвий човен з керамічного вафеля в кремнію є європейськими та американськими ринками для їх високої економічної ефективності та відмінної якості, і вони широко використовуються в прогресивних напівпровідникових процесах. Vetek Semiconductor прагне встановити довгострокові та стабільні співпрацю з глобальними клієнтами, а особливо сподівається стати вашим надійним партнером напівпровідникового процесу в Китаї.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Карбід кремнію (sic) консольне весло

Роль кремнієвого карбіду (sic) консольного весла в напівпровідниковій галузі - це підтримка та транспортування вафель. У високотемпературних процесах, таких як дифузія та окислення, консольне весло SIC може стабільно нести вафельні човни та вафлі без деформації або пошкодження через високу температуру, забезпечуючи плавний прогрес процесу. Зробити дифузію, окислення та інші процеси більш рівномірними є вирішальним для поліпшення послідовності та виходу обробки вафель. Vetek Semiconductor використовує передові технології для побудови консольного весла SIC з карбідом з високою чистотою, щоб переконатися, що вафлі не будуть забруднені. Напівпровідник Vetek з нетерпінням чекає довготривалої співпраці з вами на продуктах для консольних карбідів кремнію (SIC).

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Кварцовий тигель

Vitek Semiconductor - провідний постачальник та виробник Quartz grubible у Китаї. Кварцові тиглі, які ми виробляємо, в основному використовуються в напівпровідникових та фотоелектричних полях. Вони мають властивості чистоти та високої температурної стійкості. І наш кварцовий тигель для напівпровідників підтримує виробничі процеси витягування, завантаження та вивантаження сировини полісилікону в процесі виробництва пластини кремнію та є ключовими витратними матеріалами для виробництва вафельних вафель. Напівпровідник Vetek сподівається стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Силіконовий карбідний носій

Як професійний постачальник вафельних вафельних вафель в Китаї, напівпровідник Vetek SIC WAFER - це інструмент, спеціально використовується для обробки та обробки напівпровідникових вафель, який відіграє незамінну роль у процесі вафельних вафель. Ласкаво просимо до вашої подальшої консультації.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Кремнієвий постамент

VeTek Semiconductor Silicon Pedestal є ключовим компонентом у процесах дифузії та окислення напівпровідників. Як спеціальна платформа для перенесення кремнієвих човнів у високотемпературних печах, Silicon Pedestal має багато унікальних переваг, включаючи покращену рівномірність температури, оптимізовану якість пластин і покращену продуктивність напівпровідникових пристроїв. Щоб отримати додаткову інформацію про продукт, зв’яжіться з нами.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

SIC керамічна ущільнювальна кільце

Як масштабна фабрика та постачальник продуктів з керамічного кільця з керамічної ущільнення SIC в Китаї, семипровідникове кільце для керамічного ущільнювача Vetek має широкий спектр застосувань у промисловому полі завдяки чудовій термічній провідності, видатній хімічній та корозійній стійкості, а також високій міцності та жорсткості. Ласкаво просимо свої подальші запити.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Як професіонал Окислення та дифузійна піч виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Окислення та дифузійна піч, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Електронна пошта
anny@veteksemi.com
Адреса
Wangda Road, вулиця Зіян, графство Вуї, місто Цзіньхуа, провінція Чжецзян, Китай

Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Вийти з меню

Окислення та дифузійна піч

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

Кремнієвий карбід керамічний вафельний човен

Карбід кремнію (sic) консольне весло

Кварцовий тигель

Силіконовий карбідний носій

Кремнієвий постамент

SIC керамічна ущільнювальна кільце

Надіслати запит

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон

Факс

Електронна пошта

Адреса