SIC консольні весла

Ⅰ. Огляд використання продуктів

Весла консольних консольних консольних в основному використовуються в напівпровідниковому виробничому обладнанні як компоненти підтримки та передачі. Основна його функція полягає в стабільному та точно обробленні кремнієвих вафель в екстремальних процесах, таких як висока температура та висока корозія, забезпечуючи плавний та ефективний виробничий процес.

Ⅱ.

SIC - це вдосконалений керамічний матеріал, відмінні фізичні властивості дають йому неперевершену перевагу в напівпровідниковому полі. Нижче наведені ключові фізичні параметри, пов'язані з консольними веслами SIC:

● Висока чистота: Використання SIC-матеріалу з високою чистотою може мінімізувати забруднення процесу та покращити вихід продукту.

● Відмінна висока температура: SIC має температуру плавлення до 2830 ° C, що дозволяє йому підтримувати структурну цілісність у екстремальних температурних середовищах, таких як травлення в плазмі та високотемпературне відпал, а тривала робоча температура може досягати більше 1000 ° C.

● Висока твердість та зношування: Твердість MOHS становить 9-9,5, поступається лише алмазом, що дає консольні весла SIC, відмінна стійкість до зносу та підтримуючи розмірну стабільність під час високочастотної передачі вафель.

● Відмінна теплопровідність: Теплопровідність кераміки SIC становить 120-250 Вт/(м · к) (типове значення), що може швидко розсіювати тепло і уникати локального перегріву, що може пошкодити пластину.

● Низький коефіцієнт теплового розширення: Низький коефіцієнт теплового розширення (близько 4,0 × 10⁻⁶ /k) забезпечує стабільність розмірності при зміні температури, уникає напруги, спричиненого тепловим розширенням та скороченням, і, таким чином, знижує ризик пошкодження вафель.

Ⅲ. Сценарії застосування весла консольних консольних

Унікальні властивості консольних весла SIC дозволяють їм відігравати ключову роль у декількох посилань на виробництво напівпровідників:

● Плазмове офортне обладнання: У плазмової трави, пахтки для консольних консольних весла служать підтримками вафель, які можуть протистояти плазмовим обстрілом та корозійною ерозією газу, зберігаючи при цьому стабільність розмірності, забезпечуючи точність травлення та розширення терміну експлуатації обладнання.

● Обладнання з тонкою плівкою (CVD/PVD): У процесі хімічного осадження пари (ССЗ) та фізичного осадження пари (PVD) для підтримки вафель використовуються консольні весла SIC. Їх відмінна високотемпературна стійкість та теплопровідність допомагають рівномірно нагрівати вафлі та запобігти забрудненню частинок, що утворюється під час процесу осадження тонкої плівки.

● Система передачі вафель: У автоматизованій системі передачі вафельних перевезень SIC консольні весла можуть витримувати високочастотну механічну рух за рахунок високої твердості та стійкості до зносу, забезпечуючи точну та швидку перенесення вафель між різними технологічними камерами, зменшуючи ризик пошкодження вафель та забруднення.

● Процес високої температури відпалу: У піч високій температурі відпалу відпалу, консольні весла SIC можуть витримати ультра-високі температурні середовища, забезпечувати стабільну підтримку вафель та забезпечувати рівномірність та ефективність процесу відпалу.

Veteksemicon добре знає суворі вимоги напівпровідникових процесів якості продукції. Тому ми підтримуємо індивідуальні послуги та можемо надати розробку та виробництво весла SIC консольного весла відповідно до конкретного обладнання та вимог до процесу. І ми також будемо контролювати суворий контроль якості, щоб переконатися, що кожен продукт проводить суворі інспекції якості, щоб забезпечити, щоб він відповідав найвищим галузевим стандартам.

Що ще важливіше, технічна команда Vetek Semiconductor надасть вам комплексні технічні консультації та рішення для продуктів. Вибір нашого консольного весла SIC означає вибирати більш високу ефективність виробництва, довший термін експлуатації обладнання та кращий урожай продукту. З нетерпінням чекаємо вашої подальшої консультації.