Твердий карбід кремнію

Твердий карбід кремнію VeTek Semiconductor є важливим керамічним компонентом в обладнанні для плазмового травлення, твердий карбід кремнію (CVD карбід кремнію) частини обладнання для травлення включаютькільця фокусування, газова душова насадка, піддон, крайові кільця тощо. Завдяки низькій реакційній здатності та провідності твердого карбіду кремнію (CVD карбіду кремнію) до хлор- та фторвмісних травильних газів, це ідеальний матеріал для фокусувальних кілець та іншого обладнання для плазмового травлення. компоненти.

Наприклад, кільце фокусування є важливою частиною, яка розміщується поза пластиною та безпосередньо контактує з пластиною, шляхом подачі напруги на кільце для фокусування плазми, що проходить через кільце, таким чином фокусуючи плазму на пластині для покращення однорідності обробки. Традиційне фокусне кільце виготовляється з силікону абокварц, провідний кремній як загальний матеріал кільця фокусування, він майже близький до провідності кремнієвих пластин, але недоліком є поганий опір травленню у фторвмісній плазмі, матеріали деталей машин для травлення, які часто використовуються протягом певного періоду часу, будуть серйозні явище корозії, що серйозно знижує його ефективність виробництва.

Sкільце фокусування зі старого SiCПринцип роботи：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Порівняння кільця фокусування на основі Si та кільця фокусування CVD SiC:

Порівняння кільця фокусування на основі Si та кільця фокусування CVD SiC
Пункт	І	CVD SiC
Щільність (г/см³)	2.33	3.21
Ширина забороненої зони (еВ)	1.12	2.3
Теплопровідність (Вт/см℃)	1.5	5
КТР (х10^-6/℃)	2.6	4
Модуль пружності (ГПа)	150	440
Твердість (ГПа)	11.4	24.5
Стійкість до зношування та корозії	Бідний	Чудово

VeTek Semiconductor пропонує передові деталі з твердого карбіду кремнію (CVD карбіду кремнію), такі як фокусувальні кільця SiC для напівпровідникового обладнання. Наші фокусувальні кільця з твердого карбіду кремнію перевершують традиційний кремній за механічною міцністю, хімічною стійкістю, теплопровідністю, довговічністю при високій температурі та стійкістю до іонного травлення.

Основні характеристики наших кілець фокусування SiC включають:

Висока щільність для зниження швидкості травлення.

Відмінна ізоляція з високою шириною забороненої зони.

Висока теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення.

Висока стійкість до механічних впливів і еластичність.

Висока твердість, зносостійкість і стійкість до корозії.

Виготовлено з використаннямплазмове хімічне осадження з парової фази (PECVD)Наші фокусувальні кільця SiC відповідають зростаючим вимогам процесів травлення у виробництві напівпровідників. Вони розроблені, щоб витримувати більшу потужність і енергію плазми, зокрема вємнісний зв'язок плазми (CCP)системи.

Фокусуючі кільця VeTek Semiconductor SiC забезпечують виняткову продуктивність і надійність у виробництві напівпровідникових пристроїв. Вибирайте наші компоненти SiC, щоб отримати високу якість та ефективність.

View as

Висока чистота cvd sic сировина

Висока чистота CVD SIC сировина, приготована за допомогою CVD, є найкращим вихідним матеріалом для росту кристалів карбіду кремнію за допомогою фізичного транспорту пари. Щільність сировини SIC високої чистоти SIC, що постачається напівпровідником Vetek, вища, ніж у дрібних частинок, утворених спонтанним згорянням газів, що містять СІ та С, і вона не потребує виділеної печі, що спрямовує, і має майже постійну швидкість випаровування. Він може вирощувати надзвичайно якісні монокристали SIC. З нетерпінням чекаємо вашого запиту.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Суцільний носій SIC

Суцільний носій SIC SIC SIC SIC SYC Syconductor призначений для високотемпературних та корозійних середовищ у напівпровідникових епітаксіальних процесах і підходить для всіх типів виробничих процесів вафельних виробів з високими вимогами до чистоти. Vetek Semiconductor є провідним постачальником вафельних перевізників у Китаї і сподівається стати вашим довгостроковим партнером у напівпровідниковій галузі.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Суцільна душова головка SIC

Vetek Semiconductor-провідний виробник напівпровідникового обладнання в Китаї та професійний виробник та постачальник душової головки Solid SIC. Наша душова головка форми дисків широко використовується у виробництві тонкої плівки, такого як процес CVD для забезпечення рівномірного розподілу реакційного газу і є однією з основних компонентів печі CVD.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Sic герметична частина

Як вдосконалений виробник продукції та фабрики продукції SIC в Китаї. Ветерик напівпровідницька герметизація-це високоефективна герметична компонент, широко застосовується для напівпровідникової обробки та інших екстремальних процесів високого температури та високого тиску. Ласкаво просимо свою подальшу консультацію.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Силіконова карбідська душова головка

Душова головка карбіду кремнію має відмінну високу температуру, хімічну стабільність, теплопровідність та хороші показники розподілу газу, які можуть досягти рівномірного розподілу газу та покращити якість плівки. Тому його зазвичай використовують у високотемпературних процесах, таких як осадження хімічної пари (ССЗ) або процеси фізичного осадження пари (PVD). Ласкаво просимо свою подальшу консультацію до нас, напівпровідник Vetek.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

КІНИКОН КАРБІДНЕ Кільце

Як професійний виробник продукту та фабрику для кремнію в Китаї, напівпровідникове кільце для карбідного кремнію Vitek широко використовується в напівпровідниковому обробному обладнанні завдяки чудовому теплостійкості, корозійній стійкості, механічній міцності та теплопровідності. Особливо він підходить для процесів, що включають високотемпературні та реактивні гази, такі як ССЗ, ПВД та офорт у плазмі, і є ключовим вибором матеріалу в процесі виготовлення напівпровідників. Ваші подальші запити вітаються.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Як професіонал Твердий карбід кремнію виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Твердий карбід кремнію, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Електронна пошта
anny@veteksemi.com
Адреса
Wangda Road, вулиця Зіян, графство Вуї, місто Цзіньхуа, провінція Чжецзян, Китай

Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Вийти з меню

Твердий карбід кремнію

Основні характеристики наших кілець фокусування SiC включають:

Висока чистота cvd sic сировина

Суцільний носій SIC

Суцільна душова головка SIC

Sic герметична частина

Силіконова карбідська душова головка

КІНИКОН КАРБІДНЕ Кільце

Надіслати запит

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон

Факс

Електронна пошта

Адреса