Суцільне кільце фокусування з карбіду кремнію

Фокусуюче кільце з твердого карбіду кремнію Veteksemicon є ключовим компонентом у виробництві напівпровідників, стратегічно розташованим поза пластиною для підтримки прямого контакту. Використовуючи прикладену напругу, це кільце фокусує плазму, що проходить через нього, тим самим підвищуючи рівномірність процесу на пластині. Виготовлене виключно з карбіду кремнію методом хімічного осадження з парової фази (CVD SiC), це фокусуюче кільце втілює виняткові якості, яких вимагає напівпровідникова промисловість. Компанія Veteksemicon займається виробництвом і постачанням високоефективних фокусувальних кілець із твердого карбіду кремнію, які поєднують найвищу якість із економічною ефективністю.

Переваги продукту

У порівнянні з традиційнимФокусні кільця з кремнію (Si) або спеченого карбіду кремнію (Sintered SiC), наш продукт вирізняється ключовими параметрами:

Примітно, що провідність карбіду кремнію та стійкість до іонного травлення дуже схожі на кремній, що забезпечує сумісність із існуючими процесами виробництва напівпровідників, одночасно забезпечуючи покращену продуктивність, що робить кільце фокусування з твердого карбіду кремнію Veteksemicon ідеальним вибором матеріалу для цього критичного застосування.

Фокусуюче кільце Veteksemicon Solid Silicon Carbide Focus Ring є найсучаснішим рішенням у сфері виробництва напівпровідників. Він повністю використовує унікальні матеріальні переваги  CVD SiC для забезпечення надійних, високоточних і високоефективних процесів травлення, що значно сприяє розвитку напівпровідникових технологій нового покоління.