SIC душова головка

Vetek Semiconductor надає вдосконалену головку душу SIC для напівпровідникової галузі. Матеріали карбіду кремнію мають унікальне поєднання чудових теплових, електричних та хімічних властивостей, що робить їх ідеальними для застосування в напівпровідниковій галузі, де потрібні високоефективні матеріали. Semiconductor Vetek має давно накопичений досвід роботи в технології CVD Solid SIC. Революційна технологія Vetek Semiconductor дозволяє виробляти головку SIC душ, ультра високу чистоту кремнієвий карбідний матеріал, створений за допомогою процесу хімічного осадження пари.

Головка для душу SIC є найважливішим компонентом у виробництві напівпровідників, спеціально розроблених для систем MOCVD, епітакси кремнію таSICПроцеси епітакси. Зроблено з надійноготвердий карбід кремнію (sic), цей компонент може витримати екстремальні умови обробки плазми та високотемпературних застосувань.

Карбід кремнію (sic)відомий своєю високою теплопровідністю, хімічною корозійною стійкістю та винятковою механічною силою, що робить його ідеальним матеріалом для об'ємних компонентів SIC, таких як головка душа SIC. Голова газової душі забезпечує навіть розподіл технологічних газів над поверхнею вафель, що має важливе значення для отримання високоякісних епітаксіальних шарів. Фокусні кільця та крайові кільця, часто виготовлені з ССЗ-SIC, підтримують рівномірний розподіл у плазмі та захищають камеру від забруднення, підвищуючи ефективність та вихід епітаксіального росту.

Завдяки точному контролю над газом та видатними властивостями матеріалу, головка душа SIC є ключовим компонентом сучасної напівпровідникової обробки, що підтримує розширені програми в епітаксії кремнію та епітаксії SIC.

Напівпровідник Vetek пропонує низькоопераційну спілоту кремнію карбіду напівпровідникові душові головки. Ми маємо можливість інженера та постачативдосконалені керамічні матеріалиВикористання різноманітних унікальних можливостей.