Як вибрати графітовий лоток MOCVD?

Питання 1: Що таке графітовий лоток MOCVD і чому це так важливо для епітаксіального процесу?

Графітова пластина металево-органічної хімічної пари (MOCVD), також відома як графітовий лоток MOCVD або графіт MOCVD, є компонентом високої чистоти, що використовується для фіксації напівпровідникових вафель під час епітаксіального росту. В епітаксіальному процесі він діє як нагрівальний елемент і забезпечує рівномірний розподіл температури, який відіграє незамінну роль у осадженні тонких плівок у таких додатках, як вдосконалені напівпровідникові пристрої, виробництво світлодіодів та сонячні клітини.

Графітовий лоток може витримувати екстремальні температури (до 1800 ° C) та корозійні газові середовища, що робить його незамінним матеріалом для високотемпературних, стійких до корозії систем MOCVD. Його продуктивність безпосередньо впливає на узгодженість процесу та прибутковість вафель.

Запитання 2: Які властивості матеріалу слід визначити пріоритет при виборі графітових лотків MOCVD?

Вибір правильної графітової пластини вимагає оцінки її фізичних та хімічних властивостей:

● Висока чистота (понад 99,999%):

Зазвичай домішки, такі як метали або зола, можуть забруднити епітаксіальний процес. Вибір постачальника віруючих графіту високої чистоти, такого як Viteksemicon, забезпечує мінімальні дефекти епілятора напівпровідника.

●  Відмінна термічна стійкість:

Під час фактичної обробки графітові пластини повинні мати можливість витримувати певні теплові удари та підтримувати структурну цілісність під швидкими температурними циклами. Графіт високої щільності Viteksemicon забезпечує рівномірний розподіл тепла, що є критичним для рівномірного зростання плівки.

●  Відмінна резистентність до корозії:

У середовищі процесу MOCVD графіт, як правило, піддається корозійним газам (наприклад, аміа, водню). Високотемпературні корозійні графітові пластини MOCVD з дрібнозернистою структурою мінімізують корозію та продовжують термін служби.

●  Високопродуктивна механічна міцність:

У епітаксіальному процесі графітові лотки MOCVD повинні підтримувати кілька вафель без викривлення. Відповідно до статистики Ветеексемікону у фактичній обробці, міцність на згинання графітової пластини повинна бути ≥50 МПа для запобігання розтріскування лотка.

Q3: Як сценарій програми впливає на вибір графітових лотків MOCVD?

Різні процеси MOCVD потребують індивідуальних конструкцій графітових пластини:

●  Епітаксіальне зростання світлодіодів/фотоніки:

У процесі епітакси використовуються графітові пластини Ultra-Methoot MOCVD для зменшення генерації частинок та забезпечення шарів без дефектів.

Наприклад, графітові пластини Veteksemicon MOCVD (або графітові пластини Veteksemicon для MOCVD) розроблені для епітакси GAN та GAAS та забезпечують оптимізоване теплове управління.

●  Виробництво силового напівпровідника:

У поєднанні з експериментальною статистикою Semikera Semiconductor пластини з підвищеною стійкістю до окислення, як правило, віддають перевагу для процесів карбіду кремнію (SIC) або галійного нітриду (GAN).

●  Виробництво високої пропускної здатності:

Лотки з багатопудівельними потребами потребують точної обробки для узгодження з конструкцією реактора. Налаштування графітових лотків MOCVD від надійного постачальника Semicera Semiconductor може відповідати конкретним конфігураціям інструментів.

Q4: Які ключові міркування для пошуку надійного постачальника пластини MOCVD?

●  Сертифікація та тестування:

Перевірте, що постачальник надає сертифікацію матеріалів (наприклад, звіт про чистоту, тест на щільність) та забезпечує обробку поверхневої обробки після обробки (наприклад, покриття для зменшення пористості). Як провідний китайський напівпровідниковий покриття та виробник епітаксіальних технологічних технологій, графітові пластини Veteksemicon MOCVD були сертифіковані урядовими департаментами для жорстких експериментів з обмеженням, а результати випробувань на чистоту та щільність його продукції значно випереджають її однолітки.

●  Можливості налаштування:

Постачальники головного графіту високої чистоти повинні налаштувати розмір, шаблон отвору та покриття для задоволення ваших вимог реактора. І Veteksemicon, і Semikera Semiconductor мають можливості налаштування суміжних продуктів та технологій та повністю здатні задовольнити ваші різні індивідуальні потреби.

●  Ефективність життя та витрат:

Незважаючи на те, що дешевший графіт може заощадити на передові витрати, неповноцінні графітові пластини призведуть до частих заміни та простоїв, серйозно впливаючи на нормальну ефективність виробництва. Вибір графітових пластин Viteksemicon та інші якісні продукти дозволить вашому бізнесу досягти довгострокового надійного виробництва.

Q5: Як продовжити термін служби графітових лотків MOCVD?

●  Запобігти окисленню: Використовуйте очищення інертного газу під час циклів нагрівання/охолодження.

●  Очистіть регулярно: Використовуйте небразивні методи (наприклад, сухе травлення) для видалення депонованих залишків.

●  Уникайте механічного стресу: Обережно обробляйте лоток під час завантаження/вивантаження вафель.

Найкраща порада Veteksemicon для вас:

Для графітових пластин MOCVD, стійких до корозії високої температури, надайте пріоритет постачальникам, які мають досвід у напівпровідникових матеріалах.

Тестові зразки в фактичних умовах процесу для перевірки продуктивності.

Вивчіть передові покриття (наприклад, покриття SIC, покриття TAC) для підвищення довговічності та надійності в екстремальних умовах.

Для отримання додаткової інформації про графітову табличку MOCVD SIC клацніть тут.

Для отримання додаткової інформації про графітову табличку MOCVD MOCVD натисніть тут.