Що таке графітовий човен PECVD?

Ⅰ. Який матеріал графітового човна PECVD?

Основний матеріалГрафітовий човен PECVD(Графітовий човен з осадження пари в плазмі) виготовлений з високої чистотиІзотропний графітовий матеріал(Чистота зазвичай становить ≥99,999%) і модифікується спеціальними процесами (такими як CVD хімічного осадження пари або поверхневе покриття). Графіт високої якості широко використовується в системах PECVD завдяки його відмінній електропровідності та високій теплопровідності (80 ~ 150 Вт/м · K). ЦеГрафітовий матеріал з високою чистотоюМоже підтримувати хорошу конструкційну стабільність та хімічну стабільність у високотемпературних середовищах і може протистояти корозії з реактивних газів та плазми.

Ⅱ. Які фізичні властивості графітового човна?

Фізичні властивості графітових човнів PECVD включають:

● Електропровідність: Isostatic Graphite має чудову електропровідність, що дозволяє йому ефективно керувати електричною енергією та сприяти генерації та підтримці плазми під час процесу PECVD.

●  Теплопровідність: Висока теплопровідність графіту (близько 80 ~ 150 Вт/м · k) допомагає підтримувати стабільне температурне середовище під час процесу PECVD та забезпечити рівномірне осадження тонких плівок.

●  Щільність: Щільність комерційного полікристалічного графіту коливається від 1,30 г/см³ до 1,88 г/см³. Чим вище щільність, тим кращі фізичні та механічні властивості, що може покращити термін служби продукту.

Ⅲ. Які переваги графітового човна PECVD порівняно зі звичайним графітовим човном?

Порівняно зі звичайними графітовими човнами, графітові човни PECVD мають такі переваги:

Ⅳ. Чому вибирати графітовий човен PECVD Viteksemicon?

Як ми всі знаємо, Viteksemicon є провідним виробником та постачальником продуктів напівпровідникового покриття таГрафітові продуктив Китаї. НашГрафітові човни PECVDв основному використовуються в напівпровідникових та фотоелектричних галузях, особливо в процесах PECVD та CVD.

Графітові човни зазвичай використовуються як носії для перенесення кремнієвих вафель або інших матеріалів для забезпечення безпечної обробки та транспортування цих матеріалів у високотемпературних та плазмових середовищах. Наприклад, у процесі виготовлення напівпровідників графітові човни PECVD Veteksemicon PECVD призначені для процесів осадження хімічного осадження хімічної пари в плазмі. Графітовий човен відіграє роль відкладення шари пасивації кремнію (SINₓ) та низьких діелектричних (низьких) плівок.

У фотоелектричному полі графітові човни PECVD використовуються для приготування тонких фільму сонячних батарей на основі кремнію (такі як аморфний кремній A-SI: H) та шари пасивації клітин PERC. Графітовий човен PECVD Viteksemicon оптимізує процес покриття, ефективно проміжувавши кремнію та індукуючи сяйво, для досягнення рівномірного осадження покриття.

Що ще важливіше, Viteksemicon може надавати індивідуальні продукти та технічні послуги, а також може розробити та виготовляти графітові човнові продукти різних специфікацій відповідно до ваших фактичних вимог до процесу. Вибір Ветеексемікону означає вибирати лідера галузі з сильною силою в напівпровідникові та фотоелектричні промисловості. Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером.