Підтримка Aixtron Mocvd

Суцептори виробництваЦе напівпровідниквиготовляються з графітового підкладки та кремнієвого карбіду (sic) покриття. Враховуючи більш високу стійкість до зносу, корозійну стійкість та надзвичайно високу твердість матеріалу SIC, він особливо підходить для використання в суворих процесах процесів. Отже, чутки, що виробляються напівпровідником Vetek, можуть бути безпосередньо використані у високотемпературних процесах MOCVD без додаткової поверхневої обробки.

Сусцептори є ключовими компонентами у виробництві напівпровідників, особливо в обладнанні MOCVD для процесів осадження тонких плівок. Головна рольПриймач Aixtron SiCу процесі MOCVD полягає у виконанні напівпровідникових пластин, забезпеченні рівномірного та високоякісного осадження тонких плівок шляхом забезпечення рівномірного розподілу тепла та реакційного середовища, тим самим досягаючи високоякісного виробництва тонких плівок.

Aixtron MOCVD рецепторЗазвичай використовується для підтримки та фіксації основи напівпровідникових вафель, щоб забезпечити стабільність вафлі під час процесу осадження. У той же час поверхневе покриття чутки Aixtron Mocvd виготовляється з карбіду кремнію (SIC), високотепровідного матеріалу. Покриття SIC забезпечує рівномірну температуру на поверхні пластини, а рівномірне нагрівання має важливе значення для отримання високоякісних плівок.

Більше того,Aixtron MOCVD рецепторМи виробляємо більшу роль у контролі над потоком та розподілу реактивних газів через оптимізовану конструкцію матеріалів. Уникайте вихрових струмів та градієнтів температури для досягнення рівномірного осадження плівки.

Що ще важливіше, у процесі MOCVD матеріал покриття з карбіду кремнію (SiC) має стійкість до корозії, томуЦе напівпровідник'sAixtron MOCVD рецепторТакож може витримати високі температури та корозійні гази.

Основні фізичні властивостіSIC ПОКРИТТЯ:

Магазини VeTek Semiconductor Wafer Boat:

Огляд мережі індустрії епітаксії напівпровідникових мікросхем: