Матеріали та дизайн

Вибір відповідної комбінації підкладки та покриття є ключем до запобігання передчасному виходу компонентів з ладу, зменшення забруднення частинками та максимізації виходу пластин. Ми надаємо індивідуальні рішення щодо матеріалів і конструкцій для конкретного технологічного вікна замовника (робоча температура, хімічний склад реактивного газу, швидкість зміни).

Наші основні дизайнерські можливості:

• Суворе зіставлення стресу CTE:Для швидкого термічного циклу (>100 °C/хв) ми точно узгоджуємо температурні криві КТР високочистих графітових підкладок і CVD-покриттів, істотно знижуючи ризик розшарування покриття та мікротріщин.
• Вибір покриття залежно від сценарію процесу:CVD покриття SiC для епітаксії Si/SiC (Epi), MOCVD і середовищ плазмового травлення; Покриття CVD TaC для високотемпературних і сильно корозійних умов (наприклад, вирощування монокристалів SiC PVT).
• Контрольований питомий опір і оптимізація теплопровідності:Точний контроль об’ємного питомого опору та теплопровідності підкладки та покриття для відповідності конкретним вимогам до електричних і теплових полів RF, ESC електростатичних патронів або зон нагріву.
• Контроль джерела забруднення та зниження CoO:Високочисті шари осадження CVD щільно ущільнюють пористий графіт, значно зменшуючи осипання частинок, дифузію ультраслідів металевих домішок і ризик виділення газів при високій температурі.

Порівняння типового вибору покриття (короткий огляд)

Реальний випадок і переваги клієнта (досвід):

Провідний виробник епітаксії SiC (Epi):Оригінальний компонент використовував невідповідне покриття CVD TaC, що призводило до надмірного міжфазного напруження та частих мікротріщин при високій температурі. Ми повторно запустили термодинамічне моделювання та перейшли до aСпеціальна графітова підкладка високої чистоти з відповідністю CTE + буферний шар + CVD покриття SiCрішення. Результат: середній термін служби компонента збільшився з 200 годин до 850 годин; щорічна частота заміни інструменту зменшилася з 40 до 9 разів; Економія витрат на експлуатацію та обслуговування комплексного обладнання перевищила 650 000 юанів на рік.

Звіт про аналіз чистоти GDMS для покриттів TaC і SiC

FAQ

Почніть свою ексклюзивну послугу зараз