Як покриття TaC збільшує термін служби графітових компонентів? - VeTek Semiconductor

CVD Tantalum Carbide покриттявиробляється за допомогою осадження пари карбіду танталу (TAC) на поверхні графітової субстрату високої чистоти за допомогою процесу відкладення хімічного осадження (CVD).

Покриття з карбіду танталу (TaC) значно подовжують термін службиграфітові деталіЗа допомогою декількох механізмів, особливо у високотемпературних, дуже корозійних середовищ, таких як напівпровідникові виробництво та зростання кристалів. 

Ось конкретні причини, чомуTAC покриттяпідвищення довговічності графітових деталей:

● Покращена стійкість до високих температур

Надзвичайно висока термічна стійкість: TAC покриття здатні залишатися стабільними при надзвичайно високих температурах, що перевищують 2000 ° C і навіть можуть ефективно працювати при 2200С. Ця висока температура дозволяє покриттю протистояти ерозії розплавлених металів та хімічних газів під час виробництва напівпровідників, тим самим продовжуючи термін служби графітових деталей.

● Відмінна стійкість до корозії

Хімічна ерозійна резистентність: ТАС -покриття мають сильну стійкість до корозійних газів, таких як водне, аміак та кремнієва пара, що може ефективно запобігти корозії графітової субстратів та зменшити ризик пошкодження графітних частин у суворих середовищах. Це означає, що під час процесу росту кристалів покриття може гальмувати міграцію домішок та покращити якість кристалів та врожайність.

● Посилені механічні властивості

Хороша адгезія та стійкість до теплового удару: TAC-покриття мають сильну адгезію до графітової субстрат, гарантуючи, що покриття не буде відшаровуватися або деламінату під час високотемпературних операцій. Крім того, його відмінна стійкість до теплового удару може витримувати швидкі зміни температури без розтріскування або лущення, що ще більше продовжує термін служби графітових деталей.

● Зменшити забруднення домішок

Ультра-висока чистота: TAC покриття мають надзвичайно низький вміст домішок, що допомагає зменшити проблеми із забрудненням, які можуть виникати в умовах високої температури. Запобігаючи міграції небажаних домішок до епітаксіального шару, покриття TAC значно покращують чистоту та якість процесу росту кристалів.

● Оптимізуйте керування температурою

Поліпшення теплопровідності та опору: TAC -покриття мають відносно низьку теплопровідність та опір, що дозволяє застосувати в обігрівачах та інших компонентів термічного управління для підвищення енергоефективності та зниження втрат енергії. Ця особливість не тільки підвищує ефективність роботи, але й знижує втому матеріалу та пошкодження, спричинену перегрівом.