Підтримка графіту з покриттям TAC

Запрошуємо вас прийти на нашу фабрику VeTek Semiconductor, щоб придбати найновіший високоякісний графітовий чутливий елемент із покриттям TaC за низькою ціною. Будемо раді співпраці з вами.

Танталум карбіду керамічного матеріалу точка плавлення до 3880 ℃ - це висока температура плавлення та хороша хімічна стійкість сполуки, його висока температура все ще може підтримувати стабільну продуктивність, крім того, він також має високу температуру, хімічну корозійну стійкість, хорошу хімічну речовину і механічна сумісність з вуглецевими матеріалами та іншими характеристиками, що робить його ідеальним матеріалом захисного покриття графітової субстратів. Покриття карбіду Tantalum може ефективно захистити графітові компоненти від впливу гарячого аміаку, водню та кремнію пари та розплавленого металу в суворому середовищі використання, значно продовжує термін служби графітових компонентів та інгібує міграцію домішок у графіті, Забезпечення якості епітаксії та росту кристалів. Це в основному використовується у мокрому керамічному процесі.

Хімічне осадження з газової фази (CVD) є найбільш зрілим і оптимальним методом підготовки для покриття з карбіду танталу на поверхні графіту.

Метод покриття CVD TaC для графітового чутливого елемента з покриттям TaC:

Процес покриття використовує TACL5 та пропілен як джерело вуглецю та джерела Tantalum відповідно, а Аргон як газ -носій для залучення пари танталу пентахлориду в реакційну камеру після газифікації високої температури. Під цільовою температурою та тиском пари матеріалу -попередника адсорбується на поверхні графітової частини, і виникають ряд складних хімічних реакцій, таких як розкладання та комбінація джерела вуглецю та джерела Танталу. У той же час, також задіяна низка поверхневих реакцій, таких як дифузія попередника та десорбція побічних продуктів. Нарешті, на поверхні графітової частини утворюється щільний захисний шар, яка захищає графітову частину від стабільності в екстремальних умовах навколишнього середовища. Сценарії додатків графітових матеріалів значно розширені.

Параметр продукту Graphite Herceptor з покриттям TAC:

Виробничі магазини:

Огляд напівпровідникового ланцюга епітакси -індустрії: