Продукти
Висока чистота консольне весло
  • Висока чистота консольне веслоВисока чистота консольне весло

Висока чистота консольне весло

Vetek Semiconductor - провідний виробник і постачальник високочаститних виробів з консольними весловими продуктами SIC в Китаї. Консольні весла високої чистоти SIC зазвичай використовуються в напівпровідникових дифузійних печах як платформи передачі вафель або завантаження.

Висока чистота консольне весло SIC - це ключовий компонент, що використовується в напівпровідниковому обладнанні обробки. Продукт виготовлений з матеріалу з високою чистотою кремнію (sic).  Клієнти можуть вільно вибирати SICED SIC матеріал або перекристальний матеріал SIC. За допомогою чудових характеристик високої чистоти, високої термічної стійкості та корозійної стійкості він широко використовується в таких процесах, як передача вафель, підтримка та високотемпературна обробка, що забезпечує надійну гарантію для забезпечення точності процесу та якості продукції.


Висока чистота консольне весло відіграє такі конкретні ролі в процесі обробки напівпровідників:


Передача вафель: Висока чистота консольне весло SIC зазвичай використовується як пристрій передачі вафель у високотемпературних дифузійних або окислювальних печах. Його висока твердість робить його стійким до зносу і непростим у деформі під час тривалого використання, і може забезпечити, щоб пластина залишалася точно розміщеною під час процесу передачі. У поєднанні з високою температурою та корозійною стійкістю він може безпечно передавати вафлі в трубку та поза ними у середовищах високої температури, не спричиняючи забруднення або пошкодження вафель.


Підтримка вафель: SIC матеріал має низький коефіцієнт теплового розширення, що означає, що його розмір змінюється менше, коли температура змінюється, що допомагає підтримувати точний контроль у процесі. У процесах хімічного осадження пари (ССЗ) або фізичних процесах осадження пари (PVD), SIC консольне весло використовується для підтримки та виправлення пластину, щоб переконатися, що пластина залишається стабільною та плоскою під час процесу осадження, тим самим покращуючи рівномірність та якість плівки.


Застосування високотемпературних процесів: SIC консольне весло має чудову термічну стійкість і може протистояти температурі до 1600 ° C. Тому цей продукт широко використовується при високому відпалі, окисленні, дифузії та інших процесах.


Основні фізичні властивості високої чистоти консольного весла:

Фізичні властивості гріховного карбіду кремнію

Майно

Типове значення

Хімічний склад

Sic> 95% , І <5%

Об'ємна щільність

> 3.07 г/см³
Очевидна пористість
<0,1%
Модуль розриву при 20 ℃
270 МПа
Модуль розриву при 1200 ℃
290 МПа
Твердість у 20 ℃
2400 кг/мм²
Міцність на переломи на 20%
3,3 МПа · м1/2
Теплопровідність при 1200 ℃
45 Вт/М.К.
Теплове розширення при 20-1200 ℃
4,5 × 10-6/℃
Максимальна робоча температура
1400 ℃
Термічний ударний стійкість при 1200 ℃
Добрий

Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію
Майно
Типове значення
Робоча температура (° C)
1600 ° С (з киснем), 1700 ° С (зменшення середовища)
Зміст SIC
> 99,96%
Безкоштовний вміст Si
<0,1%
Об'ємна щільність
2,60-2,70 г/см3
Очевидна пористість
<16%
Сила стиснення
> 600 МПа
Сила холодного згинання
80-90 МПа (20 ° C)
Гаряча сила згинання
90-100 МПа (1400 ° C)
Теплове розширення @1500 ° C
4,70 х 10-6/° C
Теплопровідність @1200 ° C
23 з м • k
Модуль пружності
240 GPA
Термічний ударний стійкість
Надзвичайно добре


Висока чистота консольне весломагазини:


VeTek Semiconductor Production Shop


Огляд напівпровідникового ланцюга епітакси:


Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Гарячі теги: Висока чистота консольне весло
Надіслати запит
Контактна інформація
  • Адреса

    Wangda Road, вулиця Зіян, графство Вуї, місто Цзіньхуа, провінція Чжецзян, Китай

  • Електронна пошта

    anny@veteksemi.com

Щоб отримати запити щодо покриття з карбіду кремнію, покриття з карбіду танталу, спеціального графіту або прайс-листа, залиште нам свою електронну пошту, і ми зв’яжемося протягом 24 годин.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept