Продукти
ТАК ТАК ПОДАРТАЛЬНА ТАБЛИЦЯ
  • ТАК ТАК ПОДАРТАЛЬНА ТАБЛИЦЯТАК ТАК ПОДАРТАЛЬНА ТАБЛИЦЯ

ТАК ТАК ПОДАРТАЛЬНА ТАБЛИЦЯ

Покриття TAC може витримувати високу температуру 2200 ℃. Vitek Semiconductor забезпечує покриття TAC з високою чистотою з домішками нижче 5ppm в Китаї. Пластина для п’єдесталу з покриттям TAC здатна протистояти водню аміаку, аргоніну в камері реакційної камери епітаксіального пристрою. Це покращує термін служби продукту. Ви надаєте вимоги, ми пропонуємо налаштування.

Vetek Semiconductor - це виробник Китаю та постачальника, який в основному виробляє CVD TAC Neverscepors, вхідне кільце, вафельний чанк, власник покриття TAC, підтримуючу пластину з покриттям TAC з багаторічним досвідом. Сподіваємось будувати з вами ділові відносини.


Кераміка TAC має точку плавлення до 3880 ℃, висока твердість (твердість MOHS 9 ~ 10), велика теплопровідність (22 Вт · м-1· K−1), велика міцність на вигин (340 ~ 400mpa) та невеликий коефіцієнт теплового розширення (6,6 × 10−6K−1), і проявляйте чудову термохімічну стабільність та відмінні фізичні властивості. Він має хорошу хімічну та механічну сумісність з графітовими та C/C композитними матеріалами, тому покриття TAC широко використовується при аерокосмічному тепловому захисті, росту монокристалі та епітаксіальних реакторів, таких як Aixtron, LPE EPI -реактор у напівпровідниковій промисловості. 


Графіт з покриттям TAC має кращу хімічну резистентність до корозії, ніж голий кам'яний чорнило або графіт з покриттям SIC, може бути стабільно застосовувати при високій температурі 2200 °, не реагує на багато металевих елементів, є третьою поколінням напівпровідникового росту, епітаксії та тавової страви з високоякісним покриттям, може суттєво покращити процес температури та пов'язаного з дітьми, підготовка високоякісної якості Caroon Carbidoon Carbidoon Carbidods Caron Bafer, пов'язана з діапазоном. вафлі. Особливо він підходить для вирощування монокристала GAN або ALN в обладнанні MOCVD та SIC монокристал у обладнанні ПВТ, а якість вирощеного монокристалу, очевидно, покращується.


Покриття TAC та SIC покриття Запчастини, які ми можемо зробити:

TaC coating and SiC coating Spare parts


Параметр покриття TAC:

Фізичні властивості покриття TAC
Щільність покриття TAC 14.3 (г/см³)
Конкретна емістивність 0.3
Коефіцієнт теплового розширення 6.3 10-6
ТАК ТАКУВАННЯ ТАКУ (HK) 2000 р.
Опір 1 × 10-5Ом*см
Термічна стабільність <2500 ℃
Зміни розміру графіту -10 ~ -20um
Товщина покриття ≥20UM Типове значення (35UM ± 10um)


ЧеревикНапівпровідниковий епітакси -ланцюг промисловості промисловості промисловий ланцюг:

VeTek Semiconductor chip epitaxy industry chain Industrial Chain


Це напівпровідникТАК ТАК ПОДАРТАЛЬНА ТАБЛИЦЯВиробничий магазин

VeTek Semiconductor TaC Coating Pedestal Support Plate Production Shop


Гарячі теги: TaC Coating Pedestal Support Plate
Надіслати запит
Контактна інформація
  • Адреса

    Wangda Road, вулиця Зіян, графство Вуї, місто Цзіньхуа, провінція Чжецзян, Китай

  • Електронна пошта

    anny@veteksemi.com

Щоб отримати запити щодо покриття з карбіду кремнію, покриття з карбіду танталу, спеціального графіту або прайс-листа, залиште нам свою електронну пошту, і ми зв’яжемося протягом 24 годин.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept