Графітовий токоприймач із покриттям SiC для ASM

Загальна інформація про товар

Умови комерційної діяльності продукту

✔ Застосування: Графітова підкладка з покриттям Veteksemicon SiC є ключовим витратним матеріалом для епітаксійного обладнання серії ASM. Він безпосередньо підтримує пластину та забезпечує однорідне та стабільне теплове поле під час високотемпературної епітаксії, що робить його основним компонентом для забезпечення високоякісного вирощування передових напівпровідникових матеріалів, таких як GaN та SiC.

✔ Послуги, які можна надати: аналіз сценарію заявки клієнта, підбір матеріалів, вирішення технічних проблем. 

✔ Профіль компанії：Veteksemicon має 2 лабораторії, команду експертів з 20-річним досвідом роботи з матеріалами, з можливостями науково-дослідних розробок, виробництва, тестування та перевірки.

Технічні параметри

Мій суперник SiC з графітовим покриттям для переваг серцевини ASM

1. Надзвичайна чистота та низький рівень браку

Використовуючи високочисту дрібнодисперсну спеціальну графітову підкладку в поєднанні з нашим суворо контрольованим процесом нанесення покриттів хімічним осадженням з парової фази (CVD), ми гарантуємо, що покриття буде щільним, без отворів і домішок. Це значно знижує ризик забруднення частинками під час епітаксійного процесу, забезпечуючи чисте середовище підкладки для росту високоякісних епітаксійних шарів.

2. Чудова стійкість до корозії та зносостійкість

Піролітичне покриття з карбіду кремнію має надзвичайно високу твердість і хімічну інертність, ефективно протистоїть ерозії джерел кремнію (таких як SiH4, SiHCl3), джерел вуглецю (таких як C3H8) і газів травлення (таких як HCl, H2) при високих температурах. Це значно подовжує цикл обслуговування бази та скорочує час простою машини, спричинений заміною компонентів.

3. Відмінна теплова однорідність і стабільність

Ми оптимізували розподіл теплового поля в діапазоні робочих температур завдяки точному дизайну структури підкладки та контролю товщини покриття. Це безпосередньо перетворюється на чудову однорідність товщини та питомого опору в епітаксіальній пластині, сприяючи підвищенню продуктивності виробництва мікросхем.

4. Відмінна міцність зчеплення покриття

Унікальна технологія попередньої обробки поверхні та градієнтного покриття дозволяє покриттю з карбіду кремнію утворювати міцний зв’язувальний шар із графітовою підкладкою, ефективно запобігаючи проблемам відшаровування, відшаровування або розтріскування покриття, які можуть виникнути під час тривалого термічного циклу.

5. Точний розмір і структурна реплікація

Ми володіємо розвиненими можливостями обробки та тестування з ЧПК, що дозволяє нам повністю відтворювати складну геометрію, розміри порожнини та монтажні інтерфейси оригінальної основи, забезпечуючи ідеальну відповідність і функціональність plug-and-play з платформою замовника.

6. Підтвердження перевірки екологічного ланцюга

Мій суперник SiC з графітовим покриттям для перевірки екологічного ланцюга ASM охоплює сировину для виробництва, пройшов сертифікацію за міжнародними стандартами та має низку запатентованих технологій для забезпечення його надійності та стійкості в напівпровідниковій та новій енергетиці.

Щоб отримати докладні технічні специфікації, технічні документи або зразки тестування, зв’яжіться з нашою командою технічної підтримки, щоб дізнатися, як Veteksemicon може підвищити ефективність вашого процесу.

Основні сфери застосування

Магазин товарів Ветексемікон