Насадка для душу з твердого SiC газу

Тверда газова головка SIC

Vetek Semiconductor - це інтегрована компанія, присвячена дослідженню, виробництві та продажах. Vetek Semiconductor працює над напівпровідниковою епітаксією, травленням та іншими продуктами, пов'язаними з процесами, особливо CVD SIC, покриттям CVD TAC та CVD Solid SIC-нашими флагманськими продуктами.

Напівпровідникова газова душова душова головка Vetek зазвичай використовується для рівномірного розподілу газів -попередників на поверхню підкладки під час напівпровідникових процесів ССЗ. Використання матеріалу CVD-SIC для душових голов пропонує кілька переваг. Його висока теплопровідність допомагає розсіювати тепло, що утворюється в процесі ССЗ, забезпечуючи рівномірний розподіл температури на підкладці. Крім того, хімічна стабільність CVD SIC Head Head дозволяє йому витримувати корозійні гази та суворі середовища, які зазвичай зустрічаються в процесах ССЗ. 

Дизайн душових головки CVD може бути адаптовано до конкретних систем ССЗ та потреб у процесі. Однак вони, як правило, складаються з компонента у формі пластини або диска з серією точних свердловинних отворів або прорізів. Забезпечення отвору та геометрія ретельно розроблені для забезпечення рівномірного розподілу газу та швидкості потоку над поверхнею підкладки.

Фізичні властивості твердих SIC