Solid SiC Focus Ring

6. Основні сфери застосування

7. Veteksemi solid SiC focus ring core переваги

Відмінна стійкість до плазмової корозії

При тривалому впливі високої корозійної плазми високої щільності, такої як CF4, O2 і Cl2, звичайні матеріали чутливі до швидкого зносу та забруднення частинками. Наше фокусне кільце з міцного SiC демонструє чудову стійкість до корозії зі швидкістю корозії набагато нижчою, ніж у таких матеріалів, як кварц або оксид алюмінію. Це означає, що він зберігає гладку поверхню протягом тривалого часу, значно знижуючи ризик дефектів пластин, викликаних зносом компонентів, забезпечуючи безперервне та стабільне масове виробництво.

Чудова високотемпературна стабільність і ефективність управління температурою

Процес травлення напівпровідників виділяє значну кількість тепла, через що компоненти камери зазнають різких температурних коливань. Наші фокусні кільця мають надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення, здатні витримувати перехідні температури до 1600°C без розтріскування чи деформації. Крім того, притаманна їм висока теплопровідність допомагає рівномірно та швидко розсіювати тепло, ефективно покращуючи розподіл температури на краю пластини, тим самим покращуючиng рівномірність травлення та узгодженість критичних розмірів по всій пластині.

Надзвичайна чистота матеріалу та структурна щільність

Ми суворо контролюємо чистоту сировини з карбіду кремнію (≥99,999%) і усуваємо забруднення металу під час процесу спікання, щоб відповідати суворим вимогам передових виробничих процесів щодо контролю слідів домішок. Щільна структура, утворена шляхом високотемпературного спікання, має надзвичайно низьку пористість, майже повністю блокуючи проникнення технологічних газів і побічних продуктів. Це запобігає погіршенню продуктивності та зростанню часток, спричиненому погіршенням внутрішнього матеріалу, забезпечуючи чисте середовище робочої камери.

Тривалий механічний термін служби та повна економічна ефективність

Порівняно зі звичайними витратними матеріалами, які потребують частої заміни, фокусні кільця Veteksemi з міцного SiC забезпечують виняткову довговічність. Вони зберігають стабільну роботу протягом усього терміну служби, подовжуючи цикли заміни в кілька разів. Це не тільки безпосередньо знижує витрати на закупівлю запасних частин, але й значно покращує використання машини за рахунок скорочення часу простою обладнання для технічного обслуговування, що призводить до значної загальної економічної переваги для клієнтів.

Точний контроль розміру та гнучкі послуги налаштування

Ми розуміємо точні вимоги різних машин і процесів до витратних матеріалів. Кожне кільце фокусування проходить точну механічну обробку та суворе випробування, щоб забезпечити критичні допуски на розміри в межах ±0,05 мм. Ми також пропонуємо індивідуальні послуги, включаючи нестандартні розміри, обробку поверхні (полірування до Ra ≤ 0,2 мкм) і регулювання провідності, щоб ідеально відповідати вашим конкретним вимогам процесу та сценаріям застосування.

Щоб отримати докладні технічні специфікації, технічні документи або зразки тестування, зв’яжіться з нашою командою технічної підтримки, щоб дізнатися, як Veteksemi може підвищити ефективність вашого процесу.