Які матеріали використовуються в напівпровідникових керамічних компонентах?

Кераміка глинозему (al₂o₃) ‌

Кераміка глинозему - це "робочий коник" для виробничих керамічних компонентів. Вони виявляють чудові механічні властивості, надвисокі температури плавлення та твердість, резистентність до корозії, сильну хімічну стійкість, високий опір та чудова електрична ізоляція. Їх зазвичай використовують для виготовлення полірувальних пластин, вакуумних шонів, керамічних рук та подібних частин.

‌Aluminium Nitride Ceramics (ALN)

Кераміка нітриду алюмінію має високу теплопровідність, коефіцієнт теплового розширення, що відповідає кремнію, та низьку діелектричну постійну та втрату. З такими перевагами, як висока температура плавлення, твердість, теплопровідність та ізоляція, вони в першу чергу використовуються в підкладках, що розкидають тепло, керамічні форсунки та електростатичні штрихи.

‌Yttria кераміка (y₂o₃)

Кераміка Yttria може похвалитися високою точкою плавлення, відмінною хімічною та фотохімічною стабільністю, низькою енергією фонона, високою теплопровідністю та хорошою прозорості. У напівпровідниковій галузі їх часто поєднують з керамікою глинозему - наприклад, покриття Yttria застосовуються до кераміки глинозему для виробництва керамічних вікон.

‌ Силіконова нітридна кераміка (si₃n₄) ‌

Кераміка нітриду кремнію характеризується високою температурою плавлення, винятковою твердістю, хімічною стабільністю, низьким коефіцієнтом теплового розширення, високою теплопровідністю та сильною стійкістю до термічного удару. Вони підтримують видатну стійкість до удару та міцність нижче 1200 ° C, що робить їх ідеальними для керамічних субстратів, гачків, що несуть навантаження, розміщення штифтів та керамічних труб.

‌ Силіконова карбідна кераміка (sic) ‌

Кераміка кремнію, нагадує алмаз у властивостях, є легкими, ультрафарними та високоміцними матеріалами. Завдяки винятковій всебічній продуктивності, стійкості до зносу та корозійною стійкістю, вони широко використовуються в сидіннях клапана, ковзаючих підшипниках, пальників, форсунками та теплообмінникам.

‌Zirconia Ceramics (Zro₂) ‌

Кераміка цирконії пропонує високу механічну міцність, теплову стійкість, кислоту/лужну стійкість та відмінну ізоляцію. На основі вмісту цирконії вони класифікуються:

• Precision Ceramics‌ (вміст, що перевищує 99,9%, використовується для інтегрованих підкладок ланцюга та високочастотних ізоляційних матеріалів).
• Звичайна кераміка‌ (для керамічних продуктів загального призначення).

Структурні характеристикиНапівпровідниковий кераміка Компоненти

‌Dense Ceramics‌

Щільна кераміка широко використовується в напівпровідниковій галузі. Вони досягають ущільнення шляхом мінімізації пори і готуються за допомогою таких методів, як спікання реакції, без тиску, спікання рідкої фази, гаряче пресування та гаряче ізостатичне пресування.

‌ Родина кераміка

На відміну від щільної кераміки, пориста кераміка містить контрольований об'єм порожнеч. Вони класифікуються за розмірами пор на мікропористу, мезопористу та макропористу кераміку. З низькою об'ємною щільністю, легкою структурою, великою специфічною площею поверхні, ефективною фільтрацією/теплоізоляцією/акустичним демпфуванням та стабільними хімічними/фізичними показниками вони використовуються для виготовлення різних компонентів у напівпровідниковому обладнанні.