Кільце покриття TaC

Кільце TAC-покриття Vitek Semiconductor виготовлено з високоякісного графіту і покрито карбідом Tantalum (TAC), матеріалом, відомим своїми вищими властивостями, є незамінним компонентом при обробці напівпровідникових вафель.

Ключові особливості та переваги кілець з напівпровідника Vetek TAC:

● Висока термічна стабільність: Однією з видатних особливостей кільця для покриття карбіду Tantalum є його здатність протистояти високими температурами, критичним фактором напівпровідникового травлення. Процес травлення SIC передбачає вплив підвищених температур та реактивних газів, а покриття карбіду з туманом забезпечує, що кільце залишається стабільним і зберігає свою структурну цілісність навіть у цих суворих умовах. Ця термічна стійкість забезпечує, що компонент продовжує працювати оптимально протягом тривалих періодів.

● Посилена механічна міцність: Поєднання високоміцного графітового та TAC покриття призводить до компонента з посиленими механічними властивостями, що робить кільце з покриттям TAC високостійким до зносу. Його механічна міцність має вирішальне значення для міцного утримання SIC вафель, забезпечуючи точне травлення та запобігання будь -якій деформації під час процесу.

● Хімічна корозійна стійкість: У напівпровідникових процесах, таких як травлення SiC, компоненти часто піддаються впливу агресивних хімічних речовин і реактивних газів. Покриття з карбіду танталу забезпечує чудовий захист від корозії, значно подовжуючи термін служби кільця та зводячи до мінімуму необхідність частої заміни. Ця стійкість особливо важлива в процесі травлення, коли компоненти знаходяться в постійному контакті з хімічно реактивними речовинами.

●  Покращені покриття CoatiTaC для покращених характеристик: Покриття карбіду Tantalum на графітовому кільці забезпечує надійну поверхню, яка підвищує загальну продуктивність компонента. Карбід Tantalum славиться своєю високою температурою плавлення (приблизно 3 880 ° C) та відмінною стійкістю до хімічних реакцій, особливо в агресивних умовах, які зазвичай зустрічаються під час процесів виробництва напівпровідників. Це покриття карбіду в Tantalum значно покращує термін експлуатації продукту, забезпечуючи чудову довговічність порівняно з без покриття графітових кілець.

● Посилена механічна міцність: Поєднання високоміцного графітового та TAC покриття призводить до компонента з посиленими механічними властивостями, що робить кільце з покриттям TAC високостійким до зносу. Його механічна міцність має вирішальне значення для міцного утримання SIC вафель, забезпечуючи точне травлення та запобігання будь -якій деформації під час процесу.

Як провідний постачальник, виробник і фабрика TaC Coating Ring у Китаї, VeTek Semiconductor вже давно прагне надавати передові продукти та технічні рішення TaC Coating Ring для промисловості обробки напівпровідників, а також підтримує індивідуальні послуги щодо продуктів. VeTekSemi щиро сподівається стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Фізичні властивості покриття TaC

Магазини продукції TaC Coating Ring компанії VeTek semiconductor