Пористий кремній карбід (SIC) Керамічні пластини: Високопродуктивні матеріали у виробництві напівпровідників

Ⅰ. Що таке пориста керамічна пластина SIC?

Керамічна пластина з карбіду кремнію-це пориста структура керамічний матеріал, виготовлений з карбіду кремнію (SIC) за допомогою спеціальних процесів (таких як піноутворення, 3D-друк або додавання пор-формових агентів). Основні особливості включають:

● Керована пористість: 30% -70% регулюються для задоволення потреб різних сценаріїв додатків.

● Рівномірний розподіл розмірів пор: Забезпечити стабільність передачі газу/рідини.

● Легкий дизайн: Зменшити споживання енергії обладнання та підвищити ефективність роботи.

Ⅱ.

1. Високотемпературна стійкість та теплове управління (головним чином для вирішення проблеми теплової недостатності обладнання)

● Екстремальна температурна стійкість: Безперервна робоча температура досягає 1600 ° C (на 30% вище, ніж кераміка глинозему).

● Теплопровідність високої ефективності: Коефіцієнт теплової провідності становить 120 Вт/(м · к), швидке теплове розсіювання захищає чутливі компоненти.

● Ультра-низьке теплове розширення: Коефіцієнт теплового розширення становить лише 4,0 × 10⁻⁶/° C, що підходить для роботи при екстремальній високій температурі, ефективно уникаючи деформації високої температури.

2. Хімічна стабільність (зменшення витрат на обслуговування в корозійних умовах)

● Стійкі до сильних кислот та лугів: може витримати корозійні носії, такі як HF та H₂so₄

● Стійкий до ерозії плазми: Життя в обладнанні сухого травлення збільшується більш ніж у 3 рази

3. Механічна міцність (розширення терміну експлуатації обладнання)

● Висока твердість: Твердість MOHS високо 9,2, а стійкість до зносу краща, ніж нержавіюча сталь

● Сила згинання: 300-400 МПа, підтримуючи вафлі без викривлення

4. Функціоналізація пористих структур (поліпшення вихідного процесу)

● Рівномірний розподіл газу: Рівномірність процесу процесу CVD збільшується до 98%.

● Точний контроль адсорбції: Точність позиціонування електростатичного патрона (ESC) становить ± 0,01 мм.

5. Гарантія чистоти (відповідно до напівпровідникових стандартів)

● Нульове забруднення металу: чистота> 99,99%, уникаючи забруднення вафель

● Характеристики самоочищення: Мікропориста структура зменшує осадження частинок

Iii. Чотири ключові застосування пористих пластин SIC у напівпровідниковому виробництві

Сценарій 1: Високотемпературне технологічне обладнання (дифузійна піч/піч відпалу)

● Користувацька точка болю: Традиційні матеріали легко деформовані, що призводить до скасування вафель

● Рішення: Як плита -носій, вона стабільно працює за 1200 ° C

● Порівняння даних: Теплова деформація на 80% нижча, ніж у глинозему

Сценарій 2: хімічне осадження пари (CVD)

● Користувацька точка болю: Нерівномірний розподіл газу впливає на якість плівки

● Рішення: Пориста структура робить дифузію реакційного газу рівномірність досягнення 95%

● Промисловий випадок: Застосовується до 3D NAND Flash пам'яті тонкої плівки

Сценарій 3: Обладнання сухого травлення

● Користувацька точка болю: Lesion erosion shoЖиття компонентів rtens

● Рішення: Продуктивність проти плазми розширює цикл технічного обслуговування до 12 місяців

● Економічність: Час простою обладнання скорочується на 40%

Сценарій 4: Система очищення вафель

● Користувацька точка болю: Часта заміна частин через кислоту та лужну корозію

● Рішення: HF кислотна стійкість робить термін служби досягнення більше 5 років

● Дані перевірки: Швидкість утримання міцності> 90% після 1000 циклів очищення

Iv. 3 основні переваги відбору порівняно з традиційними матеріалами

V. FAQ для користувачів галузі

Q1: Чи підходить пориста керамічна пластина SIC для виробництва пристрою галійного нітриду (GAN)?

Відповідати: Так, його висока стійкість до температури та висока теплопровідність особливо придатні для процесу росту епітаксіального росту GAN і застосовуються до виробництва базової станції 5G.

Q2: Як вибрати параметр пористості?

Відповідати: Виберіть за сценарієм програми:

● Дистриб'юг газції: Рекомендується 40% -50% відкритої пористості

● Вакуумна адсорбція: Рекомендується 60% -70% високої пористості

Q3: Яка різниця з іншими кремнієвими карбідними кераміками?

Відповідати: Порівняно з щільнимSIC кераміка, пористі структури мають такі переваги:

● 50% зниження ваги

● 20 разів збільшують питому площі поверхні

● 30% зниження теплового стресу