Що таке електростатичний патрон (ESC)?

Електростатичний патрон (ESC), також відомий як електростатичний патрон (ESC, E-Chuck),-це кріплення, який використовує принцип електростатичної адсорбції для утримання та виправлення адсорбованого матеріалу. Він підходить для вакуумних та плазмових середовищ. Основна його функція- адсорбувати ультра-Чисті тонкі аркуші (наприклад, кремнієві вафлі) і зберігають адсорбований матеріал при хорошій плоскості, яка також може гальмувати деформацію адсорбованого матеріалу під час процесу, і він може регулювати температуру адсорбату.

Електростатичний патрон (ESC) - це спеціальний тип патрона, який використовує електростатичну силу для утримання, натискання та підбору предметів (заготовки). Будь -який матеріал несе позитивні та негативні заряди, які невидимі для неозброєного ока. Коли матеріал розміщується на ESC, і біполярна напруга застосовується до внутрішніх електродів ESC, позитивні та негативні заряди будуть рухатися всередині матеріалу, щоб відповідати полярності внутрішніх електродів ESC. Цей атракціон між ESC та матеріалом називається електростатичною силою, а також є основним принципом, що стоїть за нашими ударами.

Переваги продукту

Він має широкий діапазон робочої температури (від -50 до 700 ℃)

Ці електростатичні присосні чашки мають відмінну міцність, теплопровідність та стійкість до теплового удару, і можуть адаптуватися до широкого температурного діапазону через власний контроль опору кераміки NGK.

Висока корозійна стійкість

Ці електростатичні присосні чашки мають відмінну корозійну стійкість до галогенних газів.

Обробка з низькою частинкою

Обробка з низькою частинкою може бути досягнута за допомогою поверхневої обробки та спеціального очищення

Висока чистота

Також доступні продукти з чистотою 99,9% або вище.

Функція нагріву

Технологія вбудовування високоточних нагрівальних елементів може бути інтегрована з функцією нагрівача, а температуру вафлі можна контролювати в межах ± 1%.

Функція охолодження

Ці електростатичні присосні чашки мають надзвичайно високу продуктивність охолодження шляхом зв'язування керамічних плит з високою теплопровідністю та охолоджувальними пластинами.

Радіочастотний електрод

Об'ємні металеві електроди можуть одночасно забезпечити стабільне затискач вафель та генерація плазми радіочастот.

Pараметр

1.У галузі напівпровідникового та електронного виробництва: під час напівпровідникових та електронних виробничих процесів електростатичні присосні чашки використовуються для виправлення та обробки тонких та крихких вафель, вафель тощо. Його переваги лежать у сильній силі адсорбції, без механічних напружень та простої роботи, що ефективно покращує ефективність виробництва та якості продукції.

2. Скляна та керамічна промисловість: Під час процесів різання, шліфування та поводження зі склом та керамікою електростатичні присоски можуть виконувати неруйнівні операції на крихких матеріалах, знижуючи швидкість поломки продукту.

3. Виробництво точних машин та оптичних компонентів: для точних машин та оптичних компонентів електростатичні присосні чашки можуть забезпечити стабільну силу адсорбції, запобігаючи деформації або подряпин під час переробки.

.