Напівпровідниковий кварцовий дзвоник

Кварцовий дзвоник напівпровідникового класу виготовлений з кварцового матеріалу високої чистоти. Він має чудову термічну стійкість і сильну резистентність до корозії, і використовується у багатьох полях. У напівпровідниковій промисловості: Кварцовий бак з напівпровідникового класу забезпечує контрольоване середовище для тонкого осадження плівки на вафлях під час хімічного осадження пари (ССЗ). Кварцовий баночковий бак напівпровідника також використовується в процесах, які потребують вакуумної технології, таких як виробництво оптичних покриттів, металевих покриттів та інших видів тонких плівок. Кварцовий баночковий бак напівпровідника також потрібен у багатьох експериментах з фізичної та матеріалознавчої науки, які потребують високого чистоти, вакуумним середовищем.

Сценарії використання напівпровідникової галузі:

Полікремній - це кремнієвий матеріал, що складається з багатьох дрібних зерен, який широко використовується в інтегральних схемах, сонячних елементах та інших галузях. Хімічне осадження з газової фази (CVD) є одним з основних методів отримання полікристалічного кремнію. Основний принцип полягає в тому, що вихідний газ кремнію, такий як SiH4, розкладається при високій температурі та осідає на підкладці з утворенням полікристалічного кремнію:

SiHCl3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

При високій температурі та вакуумних умовах газовий джерело кремнію подавав у осадження хімічної пари. Нарешті отримується полікристалічний кремній. Кварцова баночка з напівпровідниковим класом є важливою частиною полікристалічного кремнієвого реактора CVD.

Полікристалічний кремній СВД реактор

Під високою температурною реакцією ССЗ, баночка з кварцовим баночком напівпровідника може забезпечити рівномірне теплове середовище. Висока температура кварцового матеріалу високої чистоти (може протистояти температурі до приблизно 1100 ° C), дозволяє йому стабільно працювати в реакціях ССЗ та забезпечувати рівномірне розподіл температури в зоні реакції. У процесі ССЗ існує безліч токсичних газових компонентів, таких як pH3 тощо. Напівпровідниковий кварцовий дзвоник може ефективно виділити хімічні гази в реакційній камері із зовнішнього середовища для запобігання шкідливому витоку газу. Корозійна резистентність до кварцового матеріалу високої чистоти також дозволяє іншим матеріалам стабільно працювати протягом тривалого часу під час процесу ССЗ і не легко корозійним або пошкодженим.

Кварцова баночка з дзвіночками використовується спільно з кварцовою трубкою збереження тепла та вертикальним кварцовим човном, і в основному використовується в епітаксіальному процесі виробництва напівпровідникової інтегральної схеми. Епітаксіальна піч, як правило, приймає вертикальну структуру, з кварцовою баночковою баночкою на зовнішній стороні вертикального кварцового човна та кварцової трубки збереження тепла як опори.

Ще одне типове застосування напівпровідникової кварцової чаші в умовах високої температури: для нагрівання партії ортодонтичних деталей до 704 ℃ протягом 1 секунди в інертній атмосфері для пайки:

Ветек напівпровідник має зрілу технічну команду. Незалежно від того, яка форма чи матеріал з високою чистотою кварцовою баночкою вам потрібно, ми можемо налаштувати її за вас.

Ветек напівпровідникові продукти: