ALD зрощував кварцовий п’єдестал

Ветек напівпровідник ALD злитий кварцовий п’єдестал відіграє ключову роль у процесі виробництва напівпровідників як структури підтримки длякварцовий човен, який використовується для утриманнявафельний. Злитий кварцовий п’єдестал допомагає досягти рівномірного осадження плівки, зберігаючи стабільну температуру, що безпосередньо впливає на продуктивність та надійність напівпровідникових пристроїв. Крім того, кварцовий п’єдестал забезпечує рівномірний розподіл тепла та світла в процесі процесу, тим самим покращуючи загальну якість процесу осадження.

ALD зрощені переваги кварцового п’єдесталу

Висока температура: Точка пом'якшення плавленого кварцового п’єдесталу високий до 1730 ° С, і він може протистояти високій температурі від 1100 ° С до 1250 ° С протягом тривалого часу, і може бути піддається впливу екстремальних температурних середовищ до 1450 ° C на короткий час.

Чудова стійкість до корозії: Злитий кварц сильно хімічно інертний до всіх кислот, крім гідрофторної кислоти. Його кислотна стійкість в 30 разів більша, ніж кераміка, і в 150 разів вище, ніж нержавіюча сталь. Злитий кварц хімічно не має собі рівних при високих температурах, що робить його ідеальним матеріалом для складних хімічних процесів.

Термостабільність: Ключовою особливістю злитого кварцового п’єдесталу є його надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення. Це означає, що він може легко обробляти драматичні коливання температури без розтріскування. Наприклад, плавлений кремнеземний кварц можна швидко нагрівати до 1100 ° C та зануритися безпосередньо в холодну воду без пошкоджень, важливою особливістю у виробничих умовах високого стресу.

Суворий виробничий процес: Виробничий процес сплавлених п'єдесталів кремнезему суворо дотримується високих стандартів якості. Виробничий процес використовує гарячі процеси формування та зварювання, які зазвичай завершуються в класі 10 000 чистих приміщень. Згодом п’єдестал з злитого кварцового скла ретельно очищається за допомогою ультрачірньої води (18 МОм), щоб забезпечити чистоту продукту та оптимальні показники. Кожен готовий продукт суворо перевіряється, очищається та упаковується в класі 1000 або вищих чистих кімнат, щоб відповідати високим стандартам напівпровідникової галузі.

Висока чистота непрозорий кремнеземний кварцовий матеріал

Підставка з плавленого кварцу VeTeksemi ALD використовує непрозорий кварцовий матеріал високої чистоти для ефективної ізоляції тепла та світла. Його відмінні теплозахисні та світлозахисні властивості дозволяють підтримувати рівномірний розподіл температури в технологічній камері, забезпечуючи однорідність і консистенцію тонкоїосадження плівкина поверхні вафелі.

Поля застосування

Злиті кварцові п’єдестали широко використовуються у багатьох галузях напівпровідникової галузі завдяки їх відмінній продуктивності. Упроцес атомно-шарового осадження (ALD)., він підтримує точний контроль зростання фільму та забезпечує просування напівпровідникових пристроїв. Упроцес хімічного осадження з газової фази під низьким тиском (LPCVD)., термостабільність і світлозахисна здатність кварцової підставки високої чистоти забезпечують гарантії рівномірного осадження тонких плівок, тим самим покращуючи продуктивність пристрою та продуктивність.

Крім того, у процесі дифузійного вафеля висока температура та хімічна корозійна стійкість до плавленого кварцового п’єдесталу забезпечують надійність та консистенцію допінгу напівпровідникового матеріалу. Ці ключові процеси визначають електричну продуктивність напівпровідникових пристроїв, а високоякісні злиті кварцові матеріали відіграють незамінну роль у досягненні найкращих результатів цих процесів.

Магазини VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Pedestal: