Від виробничого процесу електростатичних присосних чашок до виробників масового виробництва

Принцип дефукаЕлектростатичний Чакє ключовою частиною його робочого процесу, що включає електростатичні сили та механізми вивільнення вафель. Далі є детальний аналіз:

Ядро Дехека полягає у усуненні або нейтралізації електростатичної сили, адсорбованої на вафлі, а конкретні методи включають:

Youdaoplaceholder0 відрізав владу

Перестаньте застосовувати напругу постійного струму до електрода, щоб поступово усунути електричне поле.

Youdaoplaceholder0 зворотна напруга або введення газу ‌

Деякі системи застосовуватимуть зворотну напругу або вводять інертні гази (наприклад, він, n₂) для прискорення нейтралізації заряду або фізичного поділу.

Давайте порівнюємо професійні методи виробництва ESC і спочатку подивимось, чи може компанія досягти такого масштабу.

Технологія аналізу CAE, функціональні матеріали пластини, проектування електродів, технологія аналізу, технологія охолодження каналу, технологія проектування нагрівача, старший персонал у напівпровідниковому обладнанні.

Японські та південнокорейські компанії повинні бути повністю укомплектовані таким відповідним персоналом. Якщо ні, то не потрібно говорити про технологію компанії.

Технологія Chuck, електроди, диски і навіть принцип потоку HE ще не уточнювали. Давайте зробимо грубу електростатичну присосну чашку. Такі компанії безпосередньо передаються. Вони в основному використовуються для переодягання грошей інвесторів. Це базовий рівень знань, як. Інвестори також повинні відмовитися від компанії, яка грає з картковими іграми і не має працівників, які мають понад 10 -річний досвід роботи в обшивці обладнання, оскільки це не компанія, яка робить практичні речі.

Що стосується стрільби з порошком у галузі, всі знаходяться в одній галузі. Кожен має свою унікальну формулу. Який із них немає сил бути оснащеними залікованими керамічними поверхнями? Інвестори також можуть передати ці конфігурації або компанії, які їх не повністю зрозуміли, оскільки їх фундаментальна логіка однакова: вони мають на меті заробляти гроші, а не розробляти продукти.

Що стосується ремонту, то багато вітчизняних компаній повинні мати відповідні можливості для L1 до L3. Навіть якщо можливостей трохи не вистачає, L1 все ще може впоратися з цим. Для L3 і вище, або його не можна відремонтувати, або його можна субпідрядувати. У будь -якому випадку, все ще є спосіб його відремонтувати.

L1 Відновлення відновлення поверхні, вдосконалення шорсткості поверхні/Покращення/регенерація ударів.

L2 Ремонт: ремонт шару спільного шару, відновлення металевої основи та керамічний диск/повторне заповнення шару суглоба.

Заміна керамічного диска L3, виробництво/відновлення металевої основи та керамічний диск.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Компанія займає провідну позицію в розробці та виробництві вітчизняних електростатичних шак та обладнання на основі електростатичних шаків як основної технології. В даний час Haituo Innovation досяг комерційного виробництва електростатичних присосних чашок і завершила доставку 4-дюймової до 12-дюймової напівпровідникової електростатичної штрих.

Пекін Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Електростатичні присосні чашки, незалежно розроблені компанією, відповідають відповідним стандартам та обробцівимоги напівпровідникової галузі. 12-дюймові електростатичні присоски з алюмінієвим нітридом PVD, розроблені на ранній стадії, певною мірою розбили довгострокову монополію іноземних виробників у цій галузі продукту. В даний час Huazhuo Jingke застосував споріднену технологію електростатичних присосних чашок до виробництва продукції та досягло невеликого масового виробництва. Він також може забезпечити індивідуальні продукти для клієнтів.

Заснований у 2016 році, є провідним постачальником передових покриттів матеріалів для напівпровідникової галузі. Наш засновник, колишній експерт з Інституту матеріалів Китайської академії наук, створив компанію з акцентом на розробку передових рішень для галузі.

Наші основні пропозиції продуктів включають покриття карбіду (SIC) CVD (SIC), покриття з карбіду Tantalum (TAC), об'ємні SIC, SIC Powerders та SIC-матеріали з високою чистотою. Основними продуктами є графітовий серйок з покриттям SIC, передіщання кілець, кільце для диверсійного покриття TAC, частини півмісяця тощо, чистота нижче 5ppm, може відповідати вимогам клієнтів.

Zhejiang Xinna Miterse Technology Co.

Електростатичні присоски, розроблені ним, мають показники продуктивності, які можуть відповідати потребам виробничих підприємств. Вони мають видатні властивості, такі як керована температура, рівномірна сила адсорбції, без подряпин чи зморшок під час адсорбції, а також не впливають на виключення краю на вафлі. Вони були сертифіковані провідними внутрішніми напівпровідниковими підприємствами, такими як технології пам'яті Yangtze, Silan Microelectronics та North China Innovation та досягли продажів. Він порушив монополію іноземних виробників у цій галузі продуктів.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

У 2022 році компанія здійснила стратегічні кроки в галузі точних керамічних компонентів, досягнувши локалізації високотехнічних частин точності, таких як нагрівальні таблички та електростатичні залози. Основні технічні показники керамічних опалення, розроблених за допомогою Zhongci Electronics, досягли рівня подібних міжнародних продуктів і були перевірені користувачами. Вони були застосовані партіями в ключовому вітчизняному напівпровідниковому обладнанні. Керамічні нагрівальні пластини були доставлені оптом, а електростатичні штрихи були надіслані для тестування зразків.