Що таке покриття CVD TAC? - Veteksemi

Як ми всі знали,карбід танталу (TaC)має точку плавлення до 3880 ° C, висока механічна міцність, твердість, стійкість до термічних ударів; хороша хімічна інертність і термічна стійкість до аміаку, водню, кремнійвмісних парів при високих температурах.

Покриття з карбіду танталу на мікроскопічному перерізі

CVD TAC покриття, хімічне осадження пари (CVD)покриття карбіду Танталу (TAC),-це процес формування високої щільності та міцного покриття на підкладці (як правило, графіт). Цей метод передбачає відкладення ТАС на поверхню підкладки при високих температурах, що призводить до покриття з відмінною термічною стійкістю та хімічною стійкістю.

Основні переваги покриттів CVD TAC включають:

●  Надзвичайно висока термічна стабільність: покриття з карбіду танталу може витримувати температуру понад 2200°C.

● Хімічна стійкість: Покриття CVD TaC може ефективно протистояти агресивним хімічним речовинам, таким як водень, аміак і пари кремнію.

● Сильна адгезія: Покриття TaC забезпечує тривалий захист без розшарування.

●  Висока чистота: мінімізує домішки, що робить його ідеальним для застосування в напівпровідниках.

Ці покриття особливо підходять для середовищ, які потребують високої міцності та стійкості до екстремальних умов, таких як напівпровідникові виробництва та високотемпературні промислові процеси.

У промисловому виробництві, графіт (вуглець-вуглецевий композит) Матеріали, покриті покриттям TAC, дуже можуть замінити традиційний графіт високої чистоти, покриття PBN, частини покриття SIC тощо. та антиаблине покриття та має широкі перспективи застосування. Однак все ще існує багато викликів для досягнення підготовки щільного, рівномірного, нехтупучого TAC покриття на поверхні графіту та сприяння виробництву промислової маси.

У цьому процесі дослідження механізму захисту покриття, інноваційний процес виробництва та конкуренція з найкращими зарубіжними рівнями мають вирішальне значення для третього поколінняЗростання кристалів напівпровідника та епітактика.

Vetek Semiconductor - професійний китайський виробник продуктів покриття карбіду CVD Tantalum, а наша чистота покриття TAC нижче 5ppm, може відповідати вимогам клієнтів. Головні продукти з покриттям TAC Veteksemi Тигель для покриття CVD TaC, CVD TAC Покриття Властник, CVD TaC Coating Carrier, Покриття CVD TaC,  CVD TAC Кільце покриття. Vetek Semiconductor прагне надати передові рішення для різних продуктів покриття для напівпровідникової галузі. Ветек напівпровідник щиро сподівається стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Якщо у вас виникли запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

Електронна пошта: anny@veteksemi.com