Горизонтальний носій пластин SiC

VeTek Semiconductor'sГоризонтальний носій SIC/Човен має надзвичайно високу температуру плавлення (близько 2700 ° C), що дозволяєГоризонтальний носій SIC/Човен для стабільної роботи в умовах високої температури без деформації або деградації. Ця функція особливо важлива в процесі виробництва напівпровідників, особливо в таких процесах, як високотемпературний відпал або хімічне осадження з парової фази (CVD).

ЗГоризонтальний носій пластин SiC/Човен, зокрема, виконує наступні ролі в процесі перевезення носіїв пластин:

Кремнієва пластина перенесення та підтримка: Горизонтальна пластина SiC Wafer Boat в основному використовується для перенесення та підтримки кремнієвих пластин під час виробництва напівпровідників. Він може міцно скомпонувати кілька кремнієвих пластин разом, щоб забезпечити їхнє правильне положення та стабільність протягом усього процесу обробки.

Рівномірний нагрів і охолодження: Завдяки високій теплопровідності SiC, Wafer Boat може ефективно розподіляти тепло рівномірно між усіма кремнієвими пластинами. Це допомагає досягти рівномірного нагрівання або охолодження кремнієвих пластин під час високотемпературної обробки, забезпечуючи послідовність і надійність процесу обробки.

Запобігти забрудненню: Хімічна стабільність SIC дозволяє йому добре працювати в високотемпературних та корозійних газових середовищах, тим самим зменшуючи вплив кремнієвих вафель до можливих забруднень або реагентів, забезпечуючи чистоту та якість вафель кремнію.

Насправді горизонтальний вафельний човен SiC може виконувати вищезазначену роль завдяки своїм унікальним характеристикам продукту:

Відмінна хімічна стабільність: матеріал SiC має відмінну корозійну стійкість до різних хімічних середовищ. У процесі обробки корозійних газів або рідин SiC Wafer Boat може ефективно протистояти хімічній корозії та захистити кремнієві пластини від забруднення чи пошкодження.

Висока теплопровідність: висока теплопровідність SiC допомагає рівномірно розподілити тепло в процесі носія та зменшити накопичення тепла. Це може підвищити точність контролю температури під час прецизійної обробки та забезпечити рівномірний нагрів або охолодження кремнієвих пластин.

Низький коефіцієнт теплового розширення: Низький коефіцієнт теплового розширення SIC означає, що розмірна зміна човна SIC дуже мала під час змін температури. Це допомагає підтримувати розмірну стабільність під час високотемпературної обробки та запобігає деформації або позиційному зміщенню кремнієвих пластин, спричинених тепловим розширенням.

Основні фізичні властивості горизонтального пластинчастого носія SiC:

Цех виробництва напівпровідників VeTek:

Огляд напівпровідникового ланцюга епітакси -індустрії: