TAC -підпірка для покриття

Напівпровідниковий коклий настоятельTac покритийкільцеПрацюйте разом у епітаксіальному рістному реакторі карбіду кремнію LPE:

● високотемпературна опір:TAC покриттяСприцептор має відмінну високотемпературну стійкість, здатну протистояти екстремальній температурі до 1500 ° CLPE -реактор. Це гарантує, що обладнання та компоненти не деформують і не пошкоджуються під час тривалої роботи.

● Хімічна стабільність: ТАК -покриття Верцептор винятково добре працює в середовищі росту карбіду в корозійному кремнієві, ефективно захищаючи компоненти реактора від корозійної хімічної атаки, тим самим продовжуючи термін служби.

● Теплова стійкість: ТАК-покриття має хорошу теплову стабільність, підтримуючи морфологію поверхні та шорсткість, щоб забезпечити рівномірність температурного поля в реакторі, що сприятливо для високоякісного росту епітаксіальних шарів карбіду кремнію.

● Анти-забруднення: Гладка поверхня з покриттям TAC та перевершення TPD (запрограмована температура десорбція) продуктивність може мінімізувати накопичення та адсорбцію частинок та домішок всередині реактора, запобігаючи забрудненню епітаксіальних шарів.

Підсумовуючи це, TAC, покритий, і Ring відіграють критичну захисну роль у епітаксіальному реакторі росту карбіду LPE, забезпечуючи довгострокову стабільну роботу обладнання та високоякісне зростання епітаксіальних шарів.