Графітовий човен для PECVD

застосування: графітовий човен Veteksemicon для PECVD є основним компонентом у процесі хімічного осадження з парової фази з підсиленням плазми. Він розроблений спеціально для нанесення високоякісного нітриду кремнію, оксиду кремнію та інших тонких плівок на кремнієві пластини, складні напівпровідники та підкладки панелі дисплея. Його продуктивність безпосередньо визначає однорідність плівки, стабільність процесу та вартість виробництва.

Послуги, які можуть бути надані: аналіз сценарію заявки клієнта, підбір матеріалів, вирішення технічних проблем.

Профіль компанії：Veteksemicon має 2 лабораторії, команду експертів з 20-річним досвідом роботи з матеріалами, з можливостями науково-дослідних розробок, виробництва, тестування та перевірки.

Загальна інформація про товар

Умови комерційної діяльності продукту

Основні сфери застосування

Графітовий човен Veteksemicon для основних переваг PECVD

1. Субстрати високої чистоти, що контролюють забруднення з джерела

Ми наполягаємо на використанні ізостатично спресованого графіту високої чистоти зі стабільною чистотою понад 99,995% як основного матеріалу, щоб гарантувати, що він не осідає металевих домішок навіть у постійному робочому середовищі 1600°C. Ці суворі вимоги до матеріалів можуть безпосередньо уникнути погіршення продуктивності пластини, спричиненого забрудненням носія, забезпечуючи найважливішу гарантію для осадження високоякісних плівок нітриду або оксиду кремнію.

2. Точне теплове поле та структурний дизайн для забезпечення рівномірності процесу

Завдяки широкому моделюванню рідини та даним вимірювання процесу ми оптимізували кут щілини човна, глибину направляючої канавки та шлях потоку газу. Цей ретельний структурний розгляд забезпечує рівномірний розподіл реактивних газів між пластинами. Фактичні вимірювання показують, що при повному навантаженні однорідність відхилення товщини плівки між пластинами в тій самій партії можна стабільно контролювати в межах ±1,5%, що значно покращує вихід продукту.

3. Індивідуальні рішення для покриття, спрямовані на захист від корозії в процесі

Щоб відповідати різним технологічним газовим середовищам різних клієнтів, ми пропонуємо два варіанти зрілого покриття: піролітичний вуглець і карбід кремнію. Якщо ви в основному осаджуєте нітрид кремнію та використовуєте водневе очищення, щільне піролітичне вугільне покриття може забезпечити чудову стійкість до водневої плазмової ерозії. Якщо ваш процес включає фторовмісні очисні гази, то покриття з карбіду кремнію високої твердості є кращим вибором. Це може подовжити термін служби графітового човна у висококорозійних середовищах більш ніж у три рази, ніж у звичайних виробів без покриття.

4. Відмінна стійкість до термічного удару, адаптована до частих температурних циклів

Завдяки нашій унікальній формулі графіту та дизайну внутрішніх ребер посилення, наші графітові човни можуть витримувати неодноразові швидкі охолодження та нагрівання процесу PECVD. У ретельних лабораторних випробуваннях після 500 швидких термічних циклів від кімнатної температури до 800°C коефіцієнт збереження міцності на вигин човна все ще перевищував 90%, ефективно уникаючи розтріскування, викликаного термічним навантаженням, і забезпечуючи безперервність і безпеку виробництва.

5. Підтвердження перевірки екологічного ланцюга

Графітовий човен Veteksemicon для перевірки екологічного ланцюга PECVD охоплює сировину для виробництва, пройшов сертифікацію за міжнародними стандартами та має низку запатентованих технологій для забезпечення його надійності та стійкості у напівпровідниковій та новій енергетиці.

Щоб отримати докладні технічні специфікації, технічні документи або зразки тестування, зв’яжіться з нашою командою технічної підтримки, щоб дізнатися, як Veteksemicon може підвищити ефективність вашого процесу.