Суцільна душова головка SIC

Роль твердої дископодібної головки у формі диска в процесі ССЗ полягає в тому, щоб рівномірно розподілити реакційний газ над областю осадження, щоб газ міг бути рівномірно розповсюдженим по всій реакторі, щоб отримати плоску і рівномірну плівку.

Суцільна душова головка SIC встановлюється у верхній частині печі CVD або біля входу в газ. Реакційний газ надходить у структуру дискової форми через отвори, розподілені на душової головки, і розповсюджується по поверхні душової головки. Через багаторічну конструкцію каналу та рівномірно розподілені торгові точки реакційний газ може рівномірно надходити до всієї області реактора, уникаючи концентрації або турбулентності та забезпечення узгодженості товщини шару, що наноситься на підкладку.

У той же час, структура душа форми напівпровідникового диска також має дифузійний ефект, що може ефективно знизити швидкість потоку газу, щоб вона могла бути рівномірно розповсюджена на розетці насадки та зменшити вплив локальних змін потоку газу на ефект осадження. Це допомагає уникнути прямого впливу газу на підкладку та запобігти проблемі нерівномірного осадження.

З точки зору матеріалів, тверда головка газового душу SIC виготовлена ​​з високотемпературної стійкої, стійкої до корозії та твердого матеріалу з високою міцністю з дуже високою стабільністю. Він може тривалий час працювати в печі ССЗ і має тривалий термін служби.

Vetek Semiconductor надає високоякісні індивідуальні послуги. Форма та отвір розташування суцільної душової головки SIC-форми SIC можна гнучко відрегулювати відповідно до вимог клієнта для адаптації до різних типів газу, швидкості потоку та матеріалів осадження. Для різних розмірів реакторів або розмірів субстрату дископодібні душові головки з різними діаметром та розподілом отворів можуть бути налаштовані для оптимізації ефекту розподілу газу.

Semiconductor Vetek має зрілі процеси та вдосконалені технології для твердих продуктів SIC SIC Semiconductor Head, що допомагає великій кількості клієнтів досягти постійного прогресу в процесах ССЗ. Напівпровідник Vetek сподівається стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Фізичні властивості твердих SIC

Це напівпровідникСуцільні магазини виробництва душової голови SIC