Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Продукти

Твердий карбід кремнію

Твердий карбід кремнію VeTek Semiconductor є важливим керамічним компонентом в обладнанні для плазмового травлення, твердий карбід кремнію (CVD карбід кремнію) частини обладнання для травлення включаютькільця фокусування, газова душова насадка, піддон, крайові кільця тощо. Завдяки низькій реакційній здатності та провідності твердого карбіду кремнію (CVD карбіду кремнію) до хлор- та фторвмісних травильних газів, це ідеальний матеріал для фокусувальних кілець та іншого обладнання для плазмового травлення. компоненти.


Наприклад, кільце фокусування є важливою частиною, яка розміщується поза пластиною та безпосередньо контактує з пластиною, шляхом подачі напруги на кільце для фокусування плазми, що проходить через кільце, таким чином фокусуючи плазму на пластині для покращення однорідності обробки. Традиційне фокусне кільце виготовляється з силікону абокварц, провідний кремній як загальний матеріал кільця фокусування, він майже близький до провідності кремнієвих пластин, але недоліком є ​​поганий опір травленню у фторвмісній плазмі, матеріали деталей машин для травлення, які часто використовуються протягом певного періоду часу, будуть серйозні явище корозії, що серйозно знижує його ефективність виробництва.


Sкільце фокусування зі старого SiCПринцип роботи：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Порівняння кільця фокусування на основі Si та кільця фокусування CVD SiC:

Порівняння кільця фокусування на основі Si та кільця фокусування CVD SiC
Пункт І CVD SiC
Щільність (г/см3) 2.33 3.21
Ширина забороненої зони (еВ) 1.12 2.3
Теплопровідність (Вт/см℃) 1.5 5
КТР (х10-6/℃) 2.6 4
Модуль пружності (ГПа) 150 440
Твердість (ГПа) 11.4 24.5
Стійкість до зношування та корозії Бідний Чудово


VeTek Semiconductor пропонує передові деталі з твердого карбіду кремнію (CVD карбіду кремнію), такі як фокусувальні кільця SiC для напівпровідникового обладнання. Наші фокусувальні кільця з твердого карбіду кремнію перевершують традиційний кремній за механічною міцністю, хімічною стійкістю, теплопровідністю, довговічністю при високій температурі та стійкістю до іонного травлення.


Основні характеристики наших кілець фокусування SiC включають:

Висока щільність для зниження швидкості травлення.

Відмінна ізоляція з високою шириною забороненої зони.

Висока теплопровідність і низький коефіцієнт теплового розширення.

Висока стійкість до механічних впливів і еластичність.

Висока твердість, зносостійкість і стійкість до корозії.

Виготовлено з використаннямплазмове хімічне осадження з парової фази (PECVD)Наші фокусувальні кільця SiC відповідають зростаючим вимогам процесів травлення у виробництві напівпровідників. Вони розроблені, щоб витримувати більшу потужність і енергію плазми, зокрема вємнісний зв'язок плазми (CCP)системи.

Фокусуючі кільця VeTek Semiconductor SiC забезпечують виняткову продуктивність і надійність у виробництві напівпровідникових пристроїв. Вибирайте наші компоненти SiC, щоб отримати високу якість та ефективність.


View as  
 
Хімічний процес осадження пари Тверде обрізання Sic Edge

Хімічний процес осадження пари Тверде обрізання Sic Edge

Ветек напівпровідник завжди був прихильний до досліджень та розробки та виготовлення передових напівпровідникових матеріалів. Сьогодні напівпровідник Vetek досяг великого прогресу в процесі хімічного осадження пари твердих продуктів SIC Edge Ring Ring і здатний забезпечити клієнтам високо налаштовані суцільні кілець SIC Edge. Суцільні кілець SIC забезпечують кращу травлення рівномірності та точне позиціонування вафель при використанні з електростатичним патронами, забезпечуючи послідовні та надійні результати травлення. З нетерпінням чекаємо вашого розслідування та стати довгостроковими партнерами один одного.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Фокусуюче кільце для травлення з міцного SiC

Фокусуюче кільце для травлення з міцного SiC

Solid SiC Etching Focusing Ring є одним із основних компонентів процесу травлення пластин, який відіграє важливу роль у фіксації пластин, фокусуванні плазми та покращенні рівномірності травлення пластин. Як провідний виробник SiC Focusing Ring у Китаї, VeTek Semiconductor має передову технологію та зрілий процес, а також виробляє Solid SiC Etching Focusing Ring, яке повністю відповідає потребам кінцевих клієнтів відповідно до вимог замовника. Ми з нетерпінням чекаємо на ваш запит і станемо довгостроковими партнерами один для одного.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Як професіонал Твердий карбід кремнію виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Твердий карбід кремнію, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
Новини Рекомендації
Що таке кераміка кремнію?
Що таке кераміка кремнію?Дивитись більше >>
Скільки ви знаєте про сапфір?
Скільки ви знаєте про сапфір?Дивитись більше >>
Яке конкретне застосування деталей з покриттям TAC у напівпровідниковому полі?
Яке конкретне застосування деталей з покриттям TAC у напівпровідниковому полі?Дивитись більше >>
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: Очікується, що 8-дюймові чіпси SIC будуть введені у виробництво у грудні!
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: Очікується, що 8-дюймові чіпси SIC будуть введені у виробництво у грудні!Дивитись більше >>
Дослідницьке застосування технології 3D-друку в напівпровідниковій промисловості
Дослідницьке застосування технології 3D-друку в напівпровідниковій промисловостіДивитись більше >>
Матеріал епітаксії карбіду кремнію
Матеріал епітаксії карбіду кремніюДивитись більше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept