Окислення та дифузійна піч

Печі окислення та дифузії використовуються в різних сферах, таких як напівпровідникові пристрої, дискретні пристрої, оптоелектронні пристрої, електронічні пристрої, сонячні батареї та масштабне виробництво інтегральних ланцюгів. Вони використовуються для процесів, включаючи дифузію, окислення, відпал, лежать та спікання вафель.

Vetek Semiconductor-провідний виробник, що спеціалізується на виробництві графіту високої чистоти, карбіду кремнію та кварцових компонентів у печах окислення та дифузії. Ми прагнемо забезпечити високоякісні компоненти печі для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості, а також на передньому плані технології поверхневого покриття, таких як CVD-SIC, CVD-TAC, Пірокарбон тощо.

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

● Високотемпературна стійкість (до 1600 ℃)

● Відмінна теплопровідність та термічна стійкість

● Хороша хімічна корозійна стійкість

● Низький коефіцієнт теплового розширення

● Висока міцність і твердість

● Довгий термін служби

У печах окислення та дифузії, завдяки наявності високої температури та корозійних газів, багато компонентів потребують використання високотемпературних та корозійних матеріалів, серед яких карбід кремнію (SIC)-це часто використовуваний вибір. Нижче наведені загальні компоненти карбіду кремнію, що містяться в окислювальних печах та дифузійних печах:

● вафельний човен

Силіконовий вафельний човен - це контейнер, який використовується для перенесення кремнієвих вафель, які можуть витримувати високі температури і не реагуватимуть з кремнієвими вафлями.

● трубка печі

Пічна трубка - це основна складова дифузійної печі, яка використовується для розміщення кремнієвих пластин та контролю реакційного середовища. Силіконові карбідні печі мають відмінні високотемпературні та корозійні продуктивність.

● Перегородка

Використовується для регулювання потоку повітря та розподілу температури всередині печі

● Трубка захисту термопари

Використовується для захисту температурних вимірювальних термопа від прямого контакту з корозійними газами.

● Консольне весло

Консольні весла для консольних карбідів кремнію стійкі до високої температури та корозії, і використовуються для транспортування кремнієвих човнів або кварцових човнів, що перевозять кремнієві пластинки в трубки дифузійної печі.

● Газовий інжектор

Використовується для введення реакційного газу в печі, він повинен бути стійким до високої температури та корозії.

● Перевізник човна

Носії вафельного човна кремнію використовується для виправлення та підтримки кремнієвих пластин, які мають такі переваги, як висока міцність, корозійна стійкість та хороша конструкційна стабільність.

● Двері печі

Силіконові карбідні покриття або компоненти також можуть використовуватися на внутрішній стороні дверей печі.

● Опалювальний елемент

Елементи нагрівання карбіду кремнію підходять для високої температури, високої потужності і можуть швидко підвищити температуру до понад 1000 ℃.

● SIC Liner

Використовується для захисту внутрішньої стінки печінкових труб, це може допомогти зменшити втрату теплової енергії та витримати суворі середовища, такі як високий температура та високий тиск.

View as

SIC WAFER COAT

Човен для вафель SIC використовується для перенесення пластини, головним чином для процесу окислення та дифузії, щоб переконатися, що температуру можна рівномірно розподіляти на поверхні вафлі. Висока температура та висока теплопровідність SIC матеріалів забезпечують ефективну та надійну напівпровідникову обробку. Vetek Semiconductor прагне забезпечити якісну продукцію за конкурентними цінами.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

SiC технологічна труба

VeTek Semiconductor надає високоефективні технологічні трубки SiC для виробництва напівпровідників. Наші технологічні труби SiC відрізняються процесами окислення та дифузії. Завдяки високій якості та майстерності ці трубки забезпечують стійкість до високих температур і теплопровідність для ефективної обробки напівпровідників. Ми пропонуємо конкурентоспроможні ціни та прагнемо бути вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

SIC CALBILEVER PADDLE

Консольна пластина SiC від VeTek Semiconductor використовується в печах для термообробки для транспортування та підтримки вафельних човнів. Висока температурна стабільність і висока теплопровідність матеріалу SiC забезпечують високу ефективність і надійність процесу обробки напівпровідників. Ми прагнемо надавати високоякісні продукти за конкурентоспроможними цінами та сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Вафельний човен з карбіду кремнію для горизонтальної печі

Пластина SiC має високі вимоги до чистоти матеріалу. Vetek Semiconductor постачає SiC з чистотою >99,96% перекристалізованого SiC для цього продукту. VeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником у Китаї пластини з карбіду кремнію для горизонтальної печі, з багаторічним досвідом у R&D та виробництва, може добре контролювати якість і пропонувати конкурентоспроможну ціну. Ви можете бути впевнені, купуючи у нас вафельний човен з карбіду кремнію для горизонтальної печі.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

SIC з покриттям кремнію з вафельним човном

Вафельний човен з карбіду кремнію з покриттям SiC розроблено зі 165 слотами для перенесення пластин. Компанія VeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником у Китаї вафельного човен із карбіду кремнію з покриттям SiC, має багаторічний досвід у дослідженнях і розробках і виробництві, може добре контролювати якість і пропонувати конкурентоспроможну продукцію. ціна. Ласкаво просимо відвідати наш завод і провести подальше обговорення співпраці.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Силіконове карбідне консольне весло

Ветек напівпровідниковий карбідний консольний весло для консольного карбіду є важливим компонентом у процесі виготовлення напівпровідників, особливо придатного для дифузійних печей або печей LPCVD у високотемпературних процесах, таких як дифузія та RTP. Наше кремнієве карбідне консольне весло ретельно розроблене та виготовлене з відмінною високотемпературною стійкістю та механічною міцністю, і може безпечно та надійно транспортувати платори до процесу в різких умовах процесів для різних високотемпературних процесів, таких як дифузія та RTP. Ми сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Як професіонал Окислення та дифузійна піч виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Окислення та дифузійна піч, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Електронна пошта
anny@veteksemi.com
Адреса
Wangda Road, вулиця Зіян, графство Вуї, місто Цзіньхуа, провінція Чжецзян, Китай

Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Вийти з меню

Окислення та дифузійна піч

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

SIC WAFER COAT

SiC технологічна труба

SIC CALBILEVER PADDLE

Вафельний човен з карбіду кремнію для горизонтальної печі

SIC з покриттям кремнію з вафельним човном

Силіконове карбідне консольне весло

Надіслати запит

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон

Факс

Електронна пошта

Адреса