Окислення та дифузійна піч

Печі окислення та дифузії використовуються в різних сферах, таких як напівпровідникові пристрої, дискретні пристрої, оптоелектронні пристрої, електронічні пристрої, сонячні батареї та масштабне виробництво інтегральних ланцюгів. Вони використовуються для процесів, включаючи дифузію, окислення, відпал, лежать та спікання вафель.

Vetek Semiconductor-провідний виробник, що спеціалізується на виробництві графіту високої чистоти, карбіду кремнію та кварцових компонентів у печах окислення та дифузії. Ми прагнемо забезпечити високоякісні компоненти печі для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості, а також на передньому плані технології поверхневого покриття, таких як CVD-SIC, CVD-TAC, Пірокарбон тощо.

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

● Високотемпературна стійкість (до 1600 ℃)

● Відмінна теплопровідність та термічна стійкість

● Хороша хімічна корозійна стійкість

● Низький коефіцієнт теплового розширення

● Висока міцність і твердість

● Довгий термін служби

У печах окислення та дифузії, завдяки наявності високої температури та корозійних газів, багато компонентів потребують використання високотемпературних та корозійних матеріалів, серед яких карбід кремнію (SIC)-це часто використовуваний вибір. Нижче наведені загальні компоненти карбіду кремнію, що містяться в окислювальних печах та дифузійних печах:

● вафельний човен

Силіконовий вафельний човен - це контейнер, який використовується для перенесення кремнієвих вафель, які можуть витримувати високі температури і не реагуватимуть з кремнієвими вафлями.

● трубка печі

Пічна трубка - це основна складова дифузійної печі, яка використовується для розміщення кремнієвих пластин та контролю реакційного середовища. Силіконові карбідні печі мають відмінні високотемпературні та корозійні продуктивність.

● Перегородка

Використовується для регулювання потоку повітря та розподілу температури всередині печі

● Трубка захисту термопари

Використовується для захисту температурних вимірювальних термопа від прямого контакту з корозійними газами.

● Консольне весло

Консольні весла для консольних карбідів кремнію стійкі до високої температури та корозії, і використовуються для транспортування кремнієвих човнів або кварцових човнів, що перевозять кремнієві пластинки в трубки дифузійної печі.

● Газовий інжектор

Використовується для введення реакційного газу в печі, він повинен бути стійким до високої температури та корозії.

● Перевізник човна

Носії вафельного човна кремнію використовується для виправлення та підтримки кремнієвих пластин, які мають такі переваги, як висока міцність, корозійна стійкість та хороша конструкційна стабільність.

● Двері печі

Силіконові карбідні покриття або компоненти також можуть використовуватися на внутрішній стороні дверей печі.

● Опалювальний елемент

Елементи нагрівання карбіду кремнію підходять для високої температури, високої потужності і можуть швидко підвищити температуру до понад 1000 ℃.

● SIC Liner

Використовується для захисту внутрішньої стінки печінкових труб, це може допомогти зменшити втрату теплової енергії та витримати суворі середовища, такі як високий температура та високий тиск.

View as

Високий чистий кремнію карбіду вафля

Напівпровідник Vetek High Pure Silicon Carbide Wafer є важливими компонентами в рамках напівпровідникової обробки, розроблених для безпечного утримання та транспортування делікатних вафель кремнію, відіграючи ключову роль у всіх етапах виробництва. Напівпровідник Vetek Semiconductor Custicon Carbide Carbide Ranier ретельно розроблений та виготовлений для забезпечення відмінної продуктивності та надійності. Vetek Semiconductor прагне забезпечити якісну продукцію за конкурентними цінами, і ми сподіваємось, що є вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Силіконовий карбідний вафельний човен

Силіконовий карбідний човен з високою чистотою кремнію Vitek Semiconductor виготовлений з надзвичайно чистого кремнієвого карбідного матеріалу з відмінною термічною стійкістю, механічною міцністю та хімічною стійкістю. Власний човен з високою чистотою карбіду використовується в застосуванні гарячої зони у виробництві напівпровідників, особливо у високотемпературних умовах, і відіграє важливу роль у захисті вафель, транспортування матеріалів та підтримці стабільних процесів. Ветек напівпровідник буде продовжувати наполегливо працювати над інноваціями та підвищенням продуктивності вафельного човна з високою чистотою кремнію для задоволення потреб розвитку напівпровідникових виробництва. Ми сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Дивитись більше >> Надіслати запит >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Як професіонал Окислення та дифузійна піч виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Окислення та дифузійна піч, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон
+86-18069220752
Факс
+86-579-87223657
Електронна пошта
anny@veteksemi.com
Адреса
Wangda Road, вулиця Зіян, графство Вуї, місто Цзіньхуа, провінція Чжецзян, Китай

Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Вийти з меню

Окислення та дифузійна піч

Переваги напівпровідникових компонентів карбіду кремнію Vitek:

Високий чистий кремнію карбіду вафля

Силіконовий карбідний вафельний човен

Надіслати запит

QR-код

Про нас

Продукти

Зв'яжіться з нами

Телефон

Факс

Електронна пошта

Адреса