Висока чистота

VeTekSemi Високочистий кремнієва карбідний носій — важливий компонент підшипника, який використовується в печах для відпалу, дифузійних печах та іншому обладнанні в процесі виробництва напівпровідників. Вафельний носій для човна SiC високої чистоти зазвичай виготовляється з матеріалу карбіду кремнію високої чистоти та в основному включає такі частини:

• Опорний корпус човна: структура, схожа на кронштейн, спеціально використовується для перенесенняКремнієві вафліабо інші напівпровідникові матеріали.

• Структура підтримки: Його конструкція підтримки конструкції дозволяє нести великі навантаження при високих температурах і не буде деформовано або пошкодити під час високої температури.

Кремнієвий карбідний матеріал

Фізичні властивостіПерекристалізований карбід кремнію：

Якщо вимоги до виробничого процесу вищі,CVD покриття SiCможна виконати на носієві пластинчастого човна SiC високої чистоти, щоб чистота досягла понад 99,99995%, додатково покращуючи його стійкість до високих температур.

Основні фізичні властивості CVD покриття SiC:

Під час високої температурної обробки носій на вафельних човнах високої чистоти дозволяє розігрівати пластину кремнію рівномірно, щоб уникнути місцевого перегріву. Крім того, висока температурна стійкість матеріалу карбіду кремнію дозволяє йому підтримувати структурну стабільність при температурі 1200 ° С або навіть вище.

Під час процесу дифузії або відпалу, консольне весло та носій на вафельних човнах високої чистоти працюють разом. Зконсольне веслоПовільно штовхає носій на вафельних човнах SIC SIC, що перевозить кремнієву вафель у печейну камеру і зупиняє її у визначеному положенні для обробки. 

Носид SIC SIC SIC SIC підтримує контакт із кремнієвою вафельною пластиною і фіксується в певному положенні під час процесу очищення тепла, тоді як консольне весло допомагає зберегти всю структуру в потрібному положенні, забезпечуючи при цьому рівномірність температури.

Вафельний носій для човна високої чистоти SiC і консольне весло працюють разом, щоб забезпечити точність і стабільність високотемпературного процесу.

Vetek Semiconductor надає вам індивідуальний перевізник для вафельних човнів високої чистоти відповідно до ваших потреб. З нетерпінням чекаємо вашого запиту.

Це напівпровідникВисока чистота: