Силіконовий карбід SIC вафельний човен

Ветерсемікон SIC WAFER-це основний носій, розроблений спеціально для високотемпературних напівпровідникових процесів. Використовуючи як його підкладку ізостатично притиснуту графіт високої чистоти, цей продукт використовує запатентовану хімічну технологію осадження пари для утворення щільного, непористого захисного шару карбіду кремнію на поверхні.

Цей шар безперешкодно поєднує чудову теплопровідність графіту з винятковою резистентністю до корозії карбіду кремнію. Рико контрольоване покриття досягає товщини 80-120 мкм, ефективно протистоячи корозії з різних кислих та лужних атмосфери, значно знижуючи ризик забруднення металом. Він підтримує структурну стабільність та розмірну цілісність навіть у високотемпературних середовищах, забезпечуючи надійний захист та підтримку пластин під час критичних процесів, таких як окислення, дифузія та епітаксіальний ріст, ефективно розширюючи тривалість життя вафель більш ніж утричі, ніж у звичайних графітових човнах.

Ⅰ. Технічні параметри

Ⅱ. Veteksemicon SIC вафельні переваги

• Відмінна резистентність до корозії

Покриття SIC на вафельному човні Veteksemicon осідає за допомогою нашого фірмового високотемпературного процесу ССЗ, що призводить до щільної рівномірної структури, яка повністю не містить пори та тріщин. Цей твердий бар'єр ефективно виділяє вафлі з середовища печі. Сильні окислювальні атмосфери, фторовані сполуки та інші корозійні гази непроникні до цього захисного шару. Це означає, що ваші вафлі захищені від забруднення, тоді як сам човен залишається недоторканим через повторні екстремальні процеси, значно продовжуючи термін служби.

• Ультра-високі матеріали чистоти

Ми розуміємо, що навіть найменше забруднення може зробити цілу партію вафель марними. Тому Viteksemicon суворо контролює сировину, використовуючи імпорт ізостатично пресованого графіту з чистотою, що перевищує 99,9995% як субстрат. Покриття SIC, осаджена на цьому субстраті, також досягає чистоти 99,999%, з критичними домішками, такими як натрію, калій, залізо та важкі метали, що зберігаються до надзвичайно низьких рівнів (PPB). Ця майже інтринська чистота гарантує, що не вивільняються забруднення при високих температурах, в основному усуваючи ризик деградації продуктивності пристроїв через проблеми, пов'язані з носієм.

• Відмінна термічна стійкість

Виробництво напівпровідників вимагає надзвичайно послідовних теплових процесів. Коефіцієнт теплового розширення на човні Veteksemicon Pafer ретельно розроблений, щоб тісно відповідати коефіцієнтам кремнію. Під час швидкого нагрівання та охолодження човен і вафель рухаються синхронізацією, значно знижуючи ризик дефектів решітки та викривлення, спричиненого тепловим напруженням. Він може протистояти безперервній робочій температурі до 1600 ℃, підтримуючи чудову механічну міцність та розмірність розмірів навіть при цих високих температурах. Це забезпечує повторюваність та надійність у кожному запуску процесу, забезпечуючи міцну основу для контролю толерантності у виробництві мікросхем.

• Довговічна механічна міцність

Цінність нашої продукції полягає не лише в початкових інвестиціях, але і в довгостроковій вартості власності. Порівняно з традиційними кварцовими або графітовими компонентами, Veteksemicon SIC вафельні човни пропонують винятковий знос та ударну стійкість. Їх висока твердість поверхні чинить опір подряпинам та сміттям під час поводження та очищення. Ця міцність дозволяє їм легко витримати понад 200 високотемпературних циклів процесів та необхідних процедур очищення, значно зменшуючи витрати на закупівлю, витрати на запас та час простою, пов'язані з частиною заміною компонентів.

• Підтвердження перевірки екологічних ланцюгів

Перевірка екологічної ланцюга Veteksemicon SIC для виробництва охоплює сировину для виробництва, пройшла міжнародну стандартну сертифікацію та має ряд запатентованих технологій, щоб забезпечити його надійність та стійкість у напівпровідниках та нових енергетичних полях.

Ⅲ. Основні поля застосування

Для детальних технічних характеристик, білих документів або зразків тестування, зверніться до нашої групи технічної підтримки, щоб вивчити, як Viteksemicon може підвищити ефективність вашої процесу.

Склад продуктів Viteksemicon