Вакуумна гаряча пресова піч для з’єднання затравкових кристалів карбіду кремнію

Технологія склеювання зародків SiC є одним із ключових процесів, які впливаютьріст кристалів.ВЕТЕК розробив спеціалізвакуумна піч гарячого пресуваннядля зв'язування насіння на основі особливостей цього процесу. Піч може ефективно зменшити різноманітні дефекти, що виникають під час процесу зв’язування затравок, покращуючи тим самим вихід і кінцеву якість кристалічного злитка.

Представити

1. Піч використовується для зв'язування насіння ранішеЗростання кристалів SiC

2. Скріплене насіння може залишатися міцно прикріпленим при температурі 2300 ℃, зберігаючи 100% адгезію без бульбашок повітря, з високою площинністю, чистою поверхнею насіння та без адсорбованих домішок

3. Форма пластини з підігрівом має стійкість до нагріву спіральної дископодібної форми, рівномірної зони нагріву, безпечна у використанні, проста в експлуатації

4. Нижня частина форми навантажувальної плити, оснащена датчиками сили, точніше відображається притискна сила на заготовці 

Вступ до функції

1. Металева камера з водяним охолодженням із подвійною стінкою ефективно знижує температуру зовнішньої поверхні корпусу печі, мінімізує шкоду від високої температури та зменшує вплив на навколишнє середовище.

2. Це може досягти автоматичного збільшення притискної сили та сили утримування, повільної сили навантаження та переміщення може автоматично контролюватися.

3. Доступні різні конфігурації вакууму, і різні рівні вакууму можна вибрати відповідно до процесу.

4. Однорідний тиск і висока точність контролю температури.

5. Конструкція притискної сили має точний дизайн механічної тяги, що забезпечує точне та стабільне притискне зусилля, безпечне використання та екологічність.

6. Штамп вниз з'єднаний з штовхачем "універсальним" способом. Переконайтеся, що коли заготовка пригнічена, поверхня нижнього штампа знаходиться під адаптивною паралеллю з поверхнею нагрітої форми пластини, гарантуючи, що заготовка несе рівномірну притискну силу.

7. Штамп має функцію буферизації притискної сили навантаження, забезпечуючи плавну та м’яку притискну силу без ударів, таким чином запобігаючи розтріскування заготовки.

9. І форма пластини з підігрівом, і штамп притискної сили оснащені теплоізоляційним екраном, щоб зменшити неефективну втрату температури.

Параметр

Особливість

1. Повільне вакуумне відкачування, швидкість вакуумного відкачування регулюється

2. Велика камера, великий простір для оновлення

3. Штамп вниз працює стабільно та автоматично

4. Повільне полегшення та повільне збільшення притискної сили, зміна притискної сили відповідно до рецепту автоматичного керування

5. Точний програмований контроль температури та притискної сили

6. Параметри вакууму, притискної сили та температури можна вільно встановлювати відповідно до різних процесів з’єднання

7. Склеювання ущільнене та вільне від бульбашок

8. Швидкість тріщин надзвичайно низька, майже без тріщин, спричинених проблемами обладнання

9. Сумісний із склеюванням насіння 6-12 дюймів

10. Макс. притискна сила: 1,6 т

11. Максимальний вакуум: 5 Па (холодний)

12. Рівномірність температури нагрітої пластини: <±3 ℃, σ<4 (200 ℃)

13. Коливання тиску: <0,5%