Кремнієва карбідна робота

Роботична рука з карбіду кремнію Viteksemicon-це висококласне напівпровідникове переробне рішення, розроблене спеціально для суворого промислового середовища. Використовуючи вдосконалену технологію карбідного матеріалу з високою чистотою, вона демонструє виняткову стабільність та довговічність у високих температурах, корозійних середовищах та надвисоких вакуумних умовах. Як ключовий компонент у процесах обробки вафель, травлення та осадження, наша робототехнічна рука значно покращує продуктивність та знижує витрати на обслуговування.

Ⅰ. Технічні параметри

Ⅱ. Переваги основних рукоятки карбіду кремнію в кремнію

1. Екстремальна толерантність до середовища

Наша рука робота використовує унікально сформульоване покриття SIC, яке проходить багато температурних процесів осадження, що дозволяє йому підтримувати структурну цілісність при стійких температурах 1500 ° C та ефективно протистояти корозії від обстрілу в плазмі та сильних кислотних та лужних середовищах. Це принципово стосується больових точок традиційних матеріалів, схильних до старіння та має короткий термін експлуатації в крайніх умовах праці.

2. Відмінні механічні властивості

Приймаючи композитну структуру графітового підкладки та SIC покриття, ми досягли жорсткості, що значно перевищує металеві матеріали, забезпечуючи при цьому рука надзвичайно легка. Ця конструкція гарантує, що деформація руки робота надзвичайно мала під час швидкісного зворотно-поступального руху, ефективно пригнічуючи тремтіння, тим самим міцно контролюючи точність повторного позиціонування в межах ± 0,02 мм, забезпечуючи безпечну передачу точних вафель.

3. Ультра-висока чистота

Ми розуміємо, що забруднення твердих часток - це вбивця номер один урожайності. Тому кожна рука робота зазнає точної полірування та спеціалізованої поверхневої обробки, що призводить до шорсткості поверхні РА менше 0,1 мкм. Покриття надійно дотримується, запобігаючи будь -якому ризику лущення. Наша продукція на 100% випробувана на чистоту, повністю задовольняє ультра-високі вимоги до чистої кімнати та готові до використання у найсучасніших виробничих лініях.

4. Довгий термін служби

Завдяки притаманному твердості SIC 3000 HV та відмінній стійкості до зносу, наші роботи з роботами відчувають мінімальну деградацію продуктивності навіть після десятків тисяч циклів руху. Їх термін служби в декількох разів перевищує звичайні компоненти керамічного або алюмінієвого сплаву, що значно скорочує простої для заміни та обслуговування, забезпечуючи значну загальну економічну ефективність для наших клієнтів.

Ⅲ. Основні поля застосування

Перевірка екологічної ланцюга Veteksemicon Silicon Arm 'Екологічна перевірка ланцюга охоплює сировину до виробництва, пройшла міжнародну стандартну сертифікацію та має ряд запатентованих технологій, щоб забезпечити його надійність та стійкість у напівпровідникових та нових енергетичних полях. Ласкаво просимо, щоб проконсультуватися з нами в будь -який час.