Продукти
Трикомпонентні графітові тиглі
  • Трикомпонентні графітові тигліТрикомпонентні графітові тиглі
  • Трикомпонентні графітові тигліТрикомпонентні графітові тиглі

Трикомпонентні графітові тиглі

Для вимогливих додатків вирощування напівпровідникових кристалів трикомпонентний графітовий тигель VETEK забезпечує стабільність, чистоту та термічну рівномірність, яких вимагає процес. Виготовлений із високоякісного ізостатичного графіту — з додатковими покриттями SiC, TaC або PyC — його роздільна конструкція призначена не лише для зручності. Він активно знижує температурний стрес, пришвидшує технічне обслуговування та продовжує виконувати цикл за циклом.

Ключові характеристики
· Ізостатичний графіт високої чистоти з зольністю ≤5 ppm після очищення.

· Модульна конструкція з трьох частин мінімізує термічне навантаження та продовжує термін служби.

· Чудова теплопровідність для стабільного розподілу температури.

· Чудова стійкість до термічного удару при багаторазовому нагріванні та охолодженні.

· Сумісний із додатковими покриттями CVD SiC, TaC і PyC.

· Точна обробка з ЧПК забезпечує жорсткі допуски на розміри.

· Нестандартні розміри та конструкції доступні відповідно до креслень замовника.


Технічні характеристики

Фізичні властивості ізостатичного графіту
Власність
одиниця
Типове значення
Насипна щільність
г/см³
1.83
Твердість
HSD
58
Електричний опір
мкОм.м
10
Міцність на згин
МПа
47
Міцність на стиск
МПа
103
Міцність на розрив
МПа
31
Модуль Юнга
ГПа
11.8
Теплове розширення (CTE)
10-6К-1
4.6
Теплопровідність
Вт·м-1·К-1
130
Середній розмір зерна
мкм
8-10
пористість
%
10
Зольність
ppm
≤5 (після очищення)

Додатки
· Вирощування кристалів PVT SiC

· Напівпровідникові системи теплового поля

· Печі для вирощування кристалів

· Високотемпературні вакуумні печі

· Вирощування кристалів складних напівпровідників

· Напівпровідникове R&D обладнання


Навіщо працювати з VETEK?

· Повне власне виробництво від очищення графіту до нанесення покриття.

· Розширена обробка з ЧПУ та контроль якості напівпровідників.

· Додаткові технології покриття SiC, TaC і PyC.

· Виготовлення на замовлення за кресленнями або моделями обладнання.

· Стабільні глобальні постачання та надійна технічна підтримка.


Гарячі теги: Трикомпонентні графітові тиглі, графітовий трипелюстковий тигель, напівпровідниковий графітовий тигель, SiC-тигель для вирощування кристалів, PVT-графітовий тигель, графітовий тигель високої чистоти, ізостатичний графітовий тигель, термальне поле для росту кристалів, VETEK
Надіслати запит
Контактна інформація
  • Адреса

    Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Китай

  • Електронна пошта

    anny@veteksemi.com

Щоб отримати запити щодо покриття з карбіду кремнію, покриття з карбіду танталу, спеціального графіту або прайс-листа, залиште нам свою електронну адресу, і ми зв’яжемося з вами протягом 24 годин.
X
Ми використовуємо файли cookie, щоб запропонувати вам кращий досвід перегляду, аналізувати трафік сайту та персоналізувати вміст. Використовуючи цей сайт, ви погоджуєтеся на використання файлів cookie.Політика конфіденційності
Відхилятиприйняти