Дизайн теплового поля для росту монокристалів SIC

1 Важливість дизайну теплового поля в обладнанні для вирощування монокристалів SiC

Монокристал SiC є важливим напівпровідниковим матеріалом, який широко використовується в силовій електроніці, оптоелектроніці та високотемпературних додатках. Конструкція теплового поля безпосередньо впливає на поведінку кристалізації, однорідність і контроль домішок кристала, а також має вирішальний вплив на продуктивність і продуктивність обладнання для вирощування монокристалів SiC. Якість монокристала SiC безпосередньо впливає на його продуктивність і надійність у виробництві пристроїв. Раціональним проектуванням теплового поля можна досягти рівномірності розподілу температури під час росту кристала, уникнути термічної напруги та теплового градієнта в кристалі, тим самим зменшивши швидкість утворення кристалічних дефектів. Оптимізована конструкція теплового поля також може покращити якість поверхні кристала та швидкість кристалізації, ще більше покращити структурну цілісність і хімічну чистоту кристала, а також гарантувати, що вирощений монокристал SiC має хороші електричні та оптичні властивості.

Темпи зростання монокристалів SIC безпосередньо впливають на виробничі витрати та потужність. При раціонально проектуванні теплового поля може бути оптимізований градієнт температури та розподіл теплового потоку під час процесу росту кристалів, а швидкість росту кристала та ефективна швидкість використання області росту можуть бути покращені. Проектування теплового поля також може зменшити втрати енергії та відходи матеріалу під час процесу зростання, зменшити виробничі витрати та підвищити ефективність виробництва, тим самим збільшуючи вихід монокристалів SIC. SIC монокристалічне обладнання, як правило, вимагає великої кількості системи постачання та охолодження енергії, а раціонально проектування теплового поля може зменшити споживання енергії, зменшити споживання енергії та викиди навколишнього середовища. Оптимізуючи структуру теплового поля та шлях теплового потоку, енергію можна максимізувати, а відпрацьоване тепло може бути перероблене для підвищення енергоефективності та зменшення негативних наслідків на навколишнє середовище.

2 Труднощі в розробці теплового поля обладнання для вирощування монокристалів SiC

2.1 Нерівномірність теплопровідності матеріалів

SiC є дуже важливим напівпровідниковим матеріалом. Його теплопровідність має характеристики високої температурної стабільності та чудової теплопровідності, але його розподіл теплопровідності має певну нерівномірність. У процесі вирощування монокристалів SiC, щоб забезпечити рівномірність і якість росту кристалів, потрібно точно контролювати теплове поле. Нерівномірність теплопровідності матеріалів SiC призведе до нестабільності розподілу теплового поля, що в свою чергу впливає на рівномірність і якість росту кристалів. Обладнання для вирощування монокристалів SiC зазвичай використовує метод фізичного осадження з парової фази (PVT) або метод транспортування газової фази, який вимагає підтримки високотемпературного середовища в камері вирощування та реалізації росту кристалів шляхом точного контролю розподілу температури. Нерівномірність теплопровідності матеріалів SiC призведе до нерівномірного розподілу температури в камері росту, тим самим впливаючи на процес росту кристалів, що може спричинити дефекти кристалів або неоднорідну якість кристалів. Під час вирощування монокристалів SiC необхідно виконувати тривимірне динамічне моделювання та аналіз теплового поля, щоб краще зрозуміти мінливий закон розподілу температури та оптимізувати конструкцію на основі результатів моделювання. Через нерівномірність теплопровідності SiC-матеріалів ці моделювальні аналізи можуть мати певний ступінь похибки, таким чином впливаючи на точний контроль та оптимізаційний дизайн теплового поля.

2.2 Складність регулювання конвекції всередині обладнання

Під час вирощування монокристалів SiC необхідно підтримувати суворий контроль температури, щоб забезпечити однорідність і чистоту кристалів. Явище конвекції всередині обладнання може спричинити нерівномірність температурного поля, тим самим впливаючи на якість кристалів. Конвекція зазвичай утворює градієнт температури, що призводить до неоднорідної структури на поверхні кристала, що, у свою чергу, впливає на продуктивність і застосування кристалів. Хороший контроль конвекції може регулювати швидкість і напрямок потоку газу, що допомагає зменшити нерівномірність поверхні кристала та підвищити ефективність росту. Складна геометрична структура та газодинамічний процес всередині обладнання надзвичайно ускладнюють точне керування конвекцією. Висока температура середовища призведе до зниження ефективності теплопередачі та збільшить утворення градієнта температури всередині обладнання, таким чином впливаючи на рівномірність і якість росту кристалів. Деякі корозійні гази можуть впливати на матеріали та елементи теплопередачі всередині обладнання, тим самим впливаючи на стабільність і керованість конвекцією. Обладнання для вирощування монокристалів SiC зазвичай має складну структуру та численні механізми теплопередачі, такі як радіаційна теплопередача, конвекційна теплопередача та теплопровідність. Ці механізми теплообміну пов’язані один з одним, що ускладнює регулювання конвекції, особливо коли всередині обладнання є багатофазний потік і процеси зміни фази, точніше моделювати та контролювати конвекцію складніше.

3 Ключові моменти проектування теплового поля обладнання для вирощування монокристалів SiC

3.1 Розподіл та контроль потужності нагріву

При проектуванні теплового поля режим розподілу та стратегія керування потужністю нагріву повинні визначатися відповідно до параметрів процесу та вимог росту кристалів. Обладнання для вирощування монокристалів SiC використовує для нагрівання графітові нагрівальні стрижні або індукційні нагрівачі. Рівномірність і стабільність теплового поля можна досягти шляхом проектування компонування і розподілу потужності нагрівача. Під час вирощування монокристалів SiC однорідність температури має важливий вплив на якість кристала. Розподіл нагрівальної потужності повинен забезпечувати рівномірність температури в тепловому полі. За допомогою чисельного моделювання та експериментальної перевірки можна визначити співвідношення між потужністю нагріву та розподілом температури, а потім оптимізувати схему розподілу потужності нагріву, щоб зробити розподіл температури в тепловому полі більш рівномірним і стабільним. Під час вирощування монокристалів SiC контроль потужності нагріву повинен забезпечувати точне регулювання та стабільний контроль температури. Алгоритми автоматичного керування, такі як ПІД-регулятор або нечіткий контролер, можна використовувати для досягнення замкнутого циклу керування потужністю нагріву на основі даних про температуру в реальному часі, отриманих від датчиків температури, для забезпечення стабільності та однорідності температури в тепловому полі. Під час вирощування монокристалів SiC розмір потужності нагріву безпосередньо впливатиме на швидкість росту кристалів. Контроль потужності нагріву повинен забезпечувати точне регулювання швидкості росту кристалів. Аналізуючи та експериментально перевіряючи взаємозв’язок між потужністю нагріву та швидкістю росту кристалів, можна визначити прийнятну стратегію керування потужністю нагріву для досягнення точного контролю швидкості росту кристалів. Під час роботи обладнання для вирощування монокристалів SiC стабільність потужності нагріву має важливий вплив на якість росту кристалів. Для забезпечення стабільності та надійності теплової потужності необхідні стабільне та надійне опалювальне обладнання та системи керування. Опалювальне обладнання потребує регулярного техобслуговування та обслуговування для своєчасного виявлення та усунення несправностей і неполадок в опалювальному обладнанні для забезпечення нормальної роботи обладнання та стабільної видачі теплової потужності. Завдяки раціональному проектуванню схеми розподілу теплової потужності, враховуючи взаємозв’язок між потужністю нагрівання та розподілом температури, реалізуючи точний контроль потужності нагріву та забезпечуючи стабільність і надійність потужності нагрівання, ефективність росту та якість кристалів обладнання для вирощування монокристалів SiC можна досягти. ефективне вдосконалення, а також можна сприяти прогресу та розвитку технології вирощування монокристалів SiC.

3.2 Конструкція та регулювання системи управління температурою

Перед проектуванням системи контролю температури необхідний чисельний аналіз моделювання для моделювання та обчислення процесів теплопередачі, таких як провідність тепла, конвекція та випромінювання під час росту монокристалів SIC для отримання розподілу температурного поля. За допомогою експериментальної перевірки результати чисельного моделювання коригуються та регулюються для визначення проектних параметрів системи управління температурою, таких як потужність нагріву, макет обігріву та розташування датчика температури. Під час росту монокристалів SIC нагрівання опору або індукційне нагрівання зазвичай використовується для нагрівання. Необхідно вибрати відповідний нагрівальний елемент. Для нагрівання опору високотемпературний провід опору або піч опору можна вибрати як нагрівальний елемент; Для індукційного нагрівання необхідно вибрати відповідну індукційну нагрівальну котушку або індукційну нагрівальну пластину. Вибираючи нагрівальний елемент, такі фактори, як ефективність нагріву, однакоість нагрівання, висока температура та вплив на стійкість теплового поля. Конструкція системи контролю температури повинна враховувати не тільки стійкість та рівномірність температури, але й точність регулювання температури та швидкість реакції. Необхідно розробити розумну стратегію управління температурою, наприклад, контроль PID, нечіткий контроль або контроль нейронної мережі, для досягнення точного контролю та регулювання температури. Необхідно також розробити відповідну схему регулювання температури, наприклад, багатоточкове регулювання зв'язку, локальне регулювання компенсації або регулювання зворотного зв'язку, щоб забезпечити рівномірний та стабільний розподіл температури всього теплового поля. Для того, щоб реалізувати точний моніторинг та контроль температури під час зростання монокристалів SIC, необхідно прийняти вдосконалену технологію зондування температури та обладнання контролера. Ви можете вибрати високоточні датчики температури, такі як термопари, теплові резистори або інфрачервоні термометри для моніторингу змін температури в кожній області в режимі реального часу та вибрати високоефективне обладнання контролера температури, наприклад, контролер PLC (див. Малюнок 1) або контролер DSP DSP , щоб досягти точного контролю та регулювання нагрівальних елементів. Визначаючи параметри проектування на основі чисельного моделювання та експериментальних методів перевірки, вибору відповідних методів нагрівання та нагрівальних елементів, розробці розумних стратегій контролю температури та схем регулювання та використання вдосконаленої технології зондування температури та обладнання контролера, ви можете ефективно досягти точного контролю та регулювання Температура під час росту монокристалів SIC та покращує якість та вихід монокристалів.

3.3 Моделювання обчислювальної динаміки рідини

Встановлення точної моделі є основою для моделювання обчислювальної динаміки рідини (CFD). СІК МОРОБРИЧНИЙ РОЗВИТОК ЗМІНУЄТЬСЯ З ГРАФІТУВАННЯ ПІРУ, СИСТЕМА індукційного нагріву, Тигель, захисного газу тощо. У процесі моделювання необхідно враховувати складність структури печі, характеристики методу нагріву , і вплив руху матеріалу на поле потоку. Тривимірне моделювання використовується для точної реконструкції геометричних форм печі, тиглі, індукційної котушки тощо, і враховуйте теплові фізичні параметри та граничні умови матеріалу, такі як потужність нагріву та швидкість потоку газу.

У моделюванні CFD зазвичай використовуються числові методи, включають метод кінцевого обсягу (FVM) та метод кінцевих елементів (FEM). З огляду на характеристики обладнання для росту монокристалів SIC, метод FVM зазвичай використовується для вирішення рівняння потоку рідини та теплопровідності. З точки зору маху, необхідно звернути увагу на підрозділення ключових областей, таких як поверхня графіту тигель та область росту монокристалів, щоб забезпечити точність результатів моделювання. Процес росту монокристалі SIC включає різноманітні фізичні процеси, такі як тепловіддача, радіаційна передача тепла, рух рідини тощо, відповідно до фактичної ситуації, для моделювання вибираються відповідні фізичні моделі та граничні умови. Наприклад, враховуючи теплопровідність та випромінювання тепловіддачі між графітовим тиглом та монокристалом SIC, необхідно встановити відповідні граничні умови тепла; Враховуючи вплив індукційного нагрівання на рух рідини, необхідно враховувати граничні умови індукційної енергії.

Перед моделюванням CFD необхідно встановити часовий крок моделювання, критерії збіжності та інші параметри та виконати обчислення. Під час процесу моделювання необхідно постійно коригувати параметри, щоб забезпечити стабільність і збіжність результатів моделювання, а також виконувати постобробку результатів моделювання, наприклад розподіл поля температури, розподіл швидкості рідини тощо, для подальшого аналізу та оптимізації. . Точність результатів моделювання перевіряється шляхом порівняння з розподілом температурного поля, якістю монокристалів та іншими даними в реальному процесі росту. Згідно з результатами моделювання, структура печі, метод нагрівання та інші аспекти оптимізовані для підвищення ефективності росту та якості монокристалів обладнання для вирощування монокристалів SiC. CFD моделювання дизайну теплового поля обладнання для вирощування монокристалів SiC передбачає створення точних моделей, вибір відповідних чисельних методів і створення сітки, визначення фізичних моделей і граничних умов, встановлення та обчислення параметрів моделювання, а також перевірку та оптимізацію результатів моделювання. Наукове та обґрунтоване CFD моделювання може надати важливі посилання для розробки та оптимізації обладнання для вирощування монокристалів SiC, а також покращити ефективність росту та якість монокристалів.

3.4 Дизайн структури печі

Враховуючи, що для вирощування монокристалів SiC потрібна висока температура, хімічна інертність і хороша теплопровідність, матеріал корпусу печі слід вибирати зі стійких до високих температур і корозії матеріалів, таких як кераміка з карбіду кремнію (SiC), графіт тощо. Матеріал SiC має відмінні характеристики. висока температурна стабільність і хімічна інертність, і є ідеальним матеріалом корпусу печі. Внутрішня поверхня стінки корпусу печі повинна бути гладкою та рівномірною, щоб зменшити теплове випромінювання та опір теплопередачі та покращити стабільність теплового поля. Конструкція печі повинна бути максимально спрощена, з меншою кількістю структурних шарів, щоб уникнути концентрації термічної напруги та надмірного градієнта температури. Для забезпечення рівномірного розподілу та стабільності теплового поля зазвичай використовується циліндрична або прямокутна структура. Допоміжні нагрівальні елементи, такі як нагрівальні спіралі та резистори, встановлюються всередині печі для покращення рівномірності температури та стабільності теплового поля та забезпечення якості та ефективності вирощування монокристалів. Загальні методи нагрівання включають індукційне нагрівання, нагрівання опором і радіаційне нагрівання. В обладнанні для вирощування монокристалів SiC часто використовується комбінація індукційного нагріву та резистивного нагріву. Індукційне нагрівання в основному використовується для швидкого нагрівання для покращення однорідності температури та стабільності теплового поля; Опірне нагрівання використовується для підтримки постійної температури та температурного градієнта для підтримки стабільності процесу росту. Радіаційний нагрів може поліпшити рівномірність температури всередині печі, але зазвичай він використовується як допоміжний метод нагріву.

4 Висновок

Із зростаючим попитом на матеріали SiC у силовій електроніці, оптоелектроніці та інших галузях розробка технології вирощування монокристалів SiC стане ключовим напрямком наукових і технологічних інновацій. Будучи основою обладнання для вирощування монокристалів SiC, конструкція теплового поля й надалі отримуватиме велику увагу та проводитиме поглиблені дослідження. Майбутні напрямки розвитку включають подальшу оптимізацію структури теплового поля та системи керування для підвищення ефективності виробництва та якості монокристалів; вивчення нових матеріалів і технологій обробки для підвищення стабільності та довговічності обладнання; інтеграція інтелектуальних технологій для досягнення автоматичного керування та дистанційного моніторингу обладнання.