Продукти

В основному процесі епітаксійного нарощування карбіду кремнію компанія Veteksemicon розуміє, що продуктивність токоприймача безпосередньо визначає якість і ефективність виробництва епітаксійного шару. Наші електроприймачі високої чистоти, розроблені спеціально для галузі SiC, використовують спеціальну графітову підкладку та щільне CVD покриття SiC. Завдяки чудовій термічній стабільності, чудовій стійкості до корозії та надзвичайно низькій швидкості утворення часток вони забезпечують неперевершену товщину та однорідність легування для клієнтів навіть у суворих високотемпературних технологічних середовищах. Вибір Veteksemicon означає вибір наріжного каменю надійності та продуктивності для передових процесів виробництва напівпровідників.

Графітовий токоприймач Veteksemicon SiC для ASM є основним компонентом носія в епітаксіальних процесах напівпровідників. У цьому продукті використовується наша запатентована технологія піролітичного покриття карбіду кремнію та точні процеси обробки для забезпечення чудової продуктивності та надтривалого терміну служби в умовах високої температури та корозії. Ми глибоко розуміємо суворі вимоги до епітаксійних процесів щодо чистоти підкладки, термічної стабільності та консистенції, і прагнемо надавати клієнтам стабільні та надійні рішення, які покращують загальну продуктивність обладнання.

Напівпровідникові кварцові тиглі Veteksemicon є ключовими витратними матеріалами в процесі вирощування монокристалів Чохральського. З надзвичайною чистотою та високою термічною стабільністю ми прагнемо надавати клієнтам високоякісні продукти, які демонструють стабільну продуктивність і чудову стійкість до кристалізації за умов високої температури та високого тиску. Це забезпечує якість кристалічних стрижнів із джерела, допомагаючи виробництву напівпровідникових кремнієвих пластин досягати вищих врожаїв і кращої економічної ефективності.

Фокусне кільце Veteksemicon розроблено спеціально для вимогливого обладнання для травлення напівпровідників, зокрема для травлення SiC. Встановлений навколо електростатичного патрона (ESC) у безпосередній близькості від пластини, його основна функція полягає в оптимізації розподілу електромагнітного поля в реакційній камері, забезпечуючи рівномірну та сфокусовану дію плазми по всій поверхні пластини. Високоефективне кільце фокусування значно покращує рівномірність швидкості травлення та зменшує краєві ефекти, безпосередньо підвищуючи вихід продукції та ефективність виробництва.

Несуча пластина з карбіду кремнію Veteksemicon для травлення світлодіодів, спеціально розроблена для виробництва світлодіодних мікросхем, є основним витратним матеріалом у процесі травлення. Виготовлений із прецизійно спеченого карбіду кремнію високої чистоти, він забезпечує виняткову хімічну стійкість і стабільність розмірів при високій температурі, ефективно протистоїть корозії, викликаній сильними кислотами, основами та плазмою. Його властивості з низьким рівнем забруднення забезпечують високу продуктивність світлодіодних епітаксіальних пластин, тоді як його довговічність, яка значно перевищує показники традиційних матеріалів, допомагає клієнтам зменшити загальні експлуатаційні витрати, що робить його надійним вибором для підвищення ефективності та узгодженості процесу травлення.

Графітовий човен Veteksemicon для PECVD виготовлено з високочистого графіту та розроблено спеціально для процесів хімічного осадження з плазми. Використовуючи наше глибоке розуміння напівпровідникових матеріалів теплового поля та можливостей точної обробки, ми пропонуємо графітові човни з винятковою термічною стабільністю, відмінною провідністю та тривалим терміном служби. Ці човни розроблені для забезпечення високорівномірного осадження тонкої плівки на кожній пластині у вимогливому середовищі процесу PECVD, покращуючи вихід і продуктивність процесу.