Що таке Tantalum Carbide Tac покриття? - Ветессемікон

Що таке карбід Tantalum (TAC)?

Керамічний матеріал карбіду Танталум (TAC) має температуру плавлення до 3880 ℃ і є сполукою з високою температурою плавлення та хорошою хімічною стабільністю. Він може підтримувати стабільні показники у високотемпературних умовах. Крім того, він також має високу стійкість до температури, хімічну стійкість до корозії та хорошу хімічну та механічну сумісність з вуглецевими матеріалами, що робить його ідеальним матеріалом захисного покриття графітового субстрату. 

Покриття карбіду Tantalumможе ефективно захищати графітові компоненти від впливу гарячого аміаку, водню, кремніючої пари та розплавленого металу в суворих умовах використання, значно продовжуючи термін служби графітових компонентів та придушуючи міграцію домішок у графіті, забезпечуючи якість якостіепітаксіальнийіЗростання кристалів.

Фігура 1. Загальні компоненти з покриттям карбіду з карбідом Tantalum

Підготовка TAC покриття процесом CVD

Хімічне осадження пари (ССЗ) є найбільш зрілим та оптимальним методом виробництва TAC -покриттів на графітових поверхнях.

Використовуючи TACL5 та пропілен як вуглецеві та танталічні джерела відповідно, а Аргона як газ-носій, високотемпературна випарорована пара TaCl5 вводиться в реакційну камеру. При цільовій температурі та тиску попереджувальні матеріали-попередники адсорбують на поверхні графіту, що проходять ряд складних хімічних реакцій, таких як розкладання та комбінація вуглець та туманних джерел, а також ряд поверхневих реакцій, таких як дифузія та десорбція побічних продуктів попередника. Нарешті, на поверхні графіту утворюється щільний захисний шар, який захищає графіт від стабільного існування в екстремальних умовах навколишнього середовища та значно розширює сценарії застосувань графітових матеріалів.

Малюнок 2.Принцип процесу осадження хімічної пари (CVD)

Для отримання додаткової інформації про принципи та процес підготовки CVD TAC покриття, будь ласка, зверніться до статті:Як підготувати CVD TAC покриття?

Чому вибирати Viteksemicon?

СеміконВ основному забезпечує продукти карбіду Tantalum: TAC -путівник, TAC, покрите три пелюсткове кільце,Tac покриття тигель, Широко використовується пористий графіт покриття TAC - це процес росту кристалів SIC; Пористий графіт з покриттям TAC, направляючим кільцем з покриттям TAC,Графітовий вафельний носій з покриттям.Планетний чутник, І ці продукти з покриття карбіду в туману широко широко використовуютьсяПроцес епітакси SICіSic процес росту монокристалів.

Малюнок 3.ВетеринарНайпопулярніші продукти для карбіду EK Semiconductor Tantalum Carbide Product