Новини

Кварцовий човен-це ключовий навантажувальний компонент, що використовується в процесі виготовлення напівпровідників. В основному використовується для високотемпературної обробки вафель, таких як дифузія, окислення та відпал. Його відмінна термічна стійкість, низька характеристика забруднення та резистентність до корозії роблять його незамінним матеріалом у напівпровідниковій галузі. Ця стаття розробить матеріал, фізичні властивості, класифікацію, сценарії застосування кварцового човна та його відмінності від графітового човна PECVD.

Основним матеріалом графітового човна PECVD є ізотропний графітовий матеріал високої чистоти (чистота, як правило, ≥99,999%), який має чудову електропровідність, теплопровідність та щільність. Порівняно зі звичайними графітовими човнами, графітові човни PECVD мають багато переваг фізичної та хімічної власності і в основному використовуються в напівпровідниковій та фотоелектричній промисловості, особливо в процесах PECVD та CVD.

Графітові лотки MOCVD відіграють важливу роль в епітаксіальному процесі. Ця стаття робить детальний аналіз на вибір графітових лотків MOCVD з точки зору властивостей матеріалу та сценаріїв застосування.