Новини

Технологія травлення у виробництві напівпровідників часто стикається з такими проблемами, як ефект навантаження, ефект мікроканавок і ефект заряджання, які впливають на якість продукції. Рішення щодо вдосконалення включають оптимізацію щільності плазми, коригування складу реакційного газу, підвищення ефективності вакуумної системи, розробку розумного компонування літографії та вибір відповідних матеріалів маски для травлення та умов процесу.

Гаряче пресування спікання-це основний метод підготовки високопродуктивної кераміки SIC. Процес гарячого пресування спікання включає: вибір порошку SIC високої чистоти, натискання та ліплення під високим температурою та високим тиском, а потім спікання. Кераміка SIC, підготовлена ​​цим методом, мають переваги високої чистоти та високої щільності, і широко використовуються в шліфувальних дисках та обладнаннях для очищення тепла для обробки вафель.